Национальный стандарт РФ ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний" (утв. и введен в действие приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 24 ноября 2020 г. N 1152-ст)

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

ОКС 13.040.35
19.020

Дата введения - 1 сентября 2021 г.
Взамен ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007

Предисловие

1 Подготовлен Обществом с ограниченной ответственностью "Чистые технологии" (ООО "Чистые технологии") на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 4

2 Внесен Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты"

3 Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 24 ноября 2020 г. N 1152-ст

4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-3:2019 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний" (ISO 14644-3:2019 "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods, IDT).

Международный стандарт подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды" Международной организации по стандартизации (ИСО)

5 Взамен ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007

Введение

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды обеспечивают контроль загрязнения воздуха в целях поддержания допустимого уровня загрязнений в чувствительных к ним процессах. Продукты и процессы, требующие защиты от загрязнений, применяются в аэрокосмической, электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой промышленности и здравоохранении.

Данный стандарт устанавливает соответствующие методы испытаний для оценки эксплуатационных свойств чистого помещения, чистой зоны или связанной с ними контролируемой среды, включая изолирующие устройства и контролируемые зоны, а также все связанные с ними структуры, системы подготовки воздуха, обслуживание и вспомогательные устройства.

Примечание - Данный стандарт рассматривает не все методы контроля параметров чистых помещений. Методы испытаний и оборудование для определения классов чистоты воздуха по концентрации частиц и для макрочастиц установлены ИСО 14644-1 [1]. Требования к мониторингу чистоты воздуха по концентрации частиц в нанодиапазоне размеров установлены ИСО 14644-12 [8]. Методы и оборудование для контроля других параметров чистых помещений и чистых зон, используемых для специфических видов продукции или процессов, рассматриваются в других документах, разработанных ИСО/ТК 209 [например, методы контроля жизнеспособных материалов (стандарты серии ИСО 14698), испытаний работоспособности чистых помещений (ИСО 14644-4 [3]) и испытаний изолирующих устройств (ИСО 14644-7 [4]). Кроме того, могут использоваться другие стандарты, при необходимости. Другие характеристики чистоты могут быть определены по ИСО 14644-8 [5] (уровни чистоты воздуха по химическим веществам), ИСО 14644-9 [6] (уровни чистоты поверхности по концентрации частиц) и ИСО 14644-10 [7] (уровни чистоты поверхности по концентрации химических веществ).

Настоящий стандарт подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды".

Настоящий стандарт является вторым изданием ИСО 14644-3 и отменяет и заменяет первое издание (ИСО 14644-3:2005), которое было технически пересмотрено. Основные изменения по сравнению с предыдущим изданием:

- В.7 упрощен и исправлен с учетом проблем, связанных с его сложностью и отмеченными ошибками;

- руководство по классификации чистоты воздуха по концентрации частиц в воздухе перенесено в 14644-1 [1];

- текст всего документа пересмотрен или уточнен для упрощения применения.

Перечень всех частей комплекса стандартов ИСО 14644 приведен на сайте ИСО.

Данная исправленная версия ИСО 14644-3:2019 включает следующие поправки:

- исправлены перекрестные ссылки в таблице А.1, В.4.4, С.1, С.4.2 и С.4.3;

- изменены формулировки в В.2.1 а), таблице В.2;

- исключен старый рисунок В.2.

1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает методы испытаний и контроля параметров чистых помещений и чистых зон на соответствие классу чистоты воздуха, другим характеристикам чистоты и относящимся к ним контролируемым условиям.

Предусматривается выполнение двух видов испытаний чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправленным потоками воздуха) в трех возможных состояниях (построенном, оснащенном и эксплуатируемом).

Установлены методы испытаний, рекомендуемое испытательное оборудование и методики испытаний для определения эксплуатационных параметров. Если метод испытаний зависит от типа чистого помещения или чистой зоны, то предлагаются альтернативные методики.

Для некоторых видов испытаний рекомендованы несколько различных методов и видов оборудования для учета различных условий конечного пользователя. Альтернативные методы, не включенные в настоящий стандарт, могут использоваться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не обязательно обеспечивают эквивалентные результаты.

Настоящий стандарт не распространяется на испытания продукции или процессов в чистых помещениях, чистых зонах или изолирующих устройствах.

Примечание - Настоящий стандарт не распространяется на требования безопасности, связанные с его использованием (например, при использовании опасных материалов, операций и оборудования). Пользователь стандарта несет ответственность за выполнение необходимых требований по безопасности и охране здоровья и по определению нормативных ограничений до начала использования.

2 Нормативные ссылки

Нормативные ссылки в данном стандарте отсутствуют.

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.

ИСО и МЭК (IEC) предоставляют базу данных терминов для целей стандартизации по следующим адресам:

- ISO Online browsing platform - доступно по адресу https://www.iso.org/obp

- IEC Electropedia - доступно по адресу http://www.electropedia.org/

3.1 Общие термины

3.1.1 чистое помещение (cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц (3.2.1) и которое спроектировано, построено и эксплуатируется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц в нем.

Примечания

1 Следует задать класс чистоты по концентрации аэрозольных частиц (3.2.4).

2 Могут также задаваться и контролироваться другие параметры, например, концентрации химических, биологических загрязнений и загрязнений с размерами в нанодиапазоне в воздухе, а также чистота поверхностей по частицам, химическим, биологическим загрязнениям и загрязнениям с размерами в нанодиапазоне.

3 При необходимости могут задаваться и другие физические параметры, например, температура, влажность, давление, уровень вибрации и электростатические характеристики.

[ИСО 14644-1:2015, 3.1.1]

3.1.2 чистая зона (clean zone): Определенное пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц (3.2.1) и которое построено и эксплуатируется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц в нем.

Примечания

1 Следует задать класс чистоты по концентрации аэрозольных частиц (3.2.4).

2 Могут также задаваться и контролироваться другие параметры, например, концентрации химических, биологических загрязнений и загрязнений с размерами в нанодиапазоне в воздухе, а также чистота поверхностей по частицам, химическим, биологическим загрязнениям и загрязнениям с размерами в нанодиапазоне.

3 Чистая зона может находиться внутри чистого помещения (3.1.1) или представлять собой изолирующее устройство. Такое устройство может быть установлено как в чистом помещении, так и вне его.

4 При необходимости могут задаваться и другие физические параметры, например, температура, влажность, давление, уровень вибрации и электростатические характеристики.

[ИСО 14644-1:2015, 3.1.2]

3.1.3 объект (installation): Чистое помещение (3.1.1) или одна или более чистых зон (3.1.2) совместно с сопутствующими системами и инженерными коммуникациями.

[ИСО 14644-1:2015, 3.1.3]

3.1.4 изолирующее устройство (separative device): Устройство, имеющее конструктивные и динамические средства для создания надежного разделения между внутренними и внешними пространствами по отношению к определенному объему.

Примечание - Примерами некоторых промышленных изолирующих устройств являются устройства с чистым воздухом, герметичные устройства, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения.

[ИСО 14644-7:2004, 3.17]

3.1.5 разрешающая способность (resolution): Наименьшее изменение измеряемой количественной характеристики, которое вызывает различимое изменение в показании прибора.

Примечание - Разрешающая способность может зависеть, например, от шумов (внутренних или внешних) или трения. Она также может зависеть от значения измеряемой величины.

[ИСО 14644-1:2015, 3.4.1]

3.1.6 чувствительность (sensitivity): Отношение изменения показания измерительной системы к соответствующему изменению измеряемой величины.

3.2 Аэрозольные частицы

3.2.1 аэрозольная частица (airborne particle): Взвешенный в воздухе твердый или жидкий объект, жизнеспособный или нежизнеспособный, с размерами от 1 нм до 100 мкм.

Примечание - Для целей классификации см. ИСО 14644-1:2015, 3.2.1.

3.2.2 средний диаметр считаемых частиц (count median particle diameter): Средний диаметр частицы, определяемый по числу частиц.

Примечание - Для среднего диаметра половина числа частиц относится к частицам с размерами, меньшими среднего размера считаемых частиц, а половина числа частиц относится к частицам с размерами, большими среднего размера считаемых частиц.

3.2.3 средний диаметр частицы по массе (mass median particle diameter): Средний диаметр частицы, определяемый по массе частицы.

Примечание - Для среднего диаметра по массе половина массы всех частиц относится к частицам с размерами, меньшими среднего размера частиц по массе, а половина частиц относится к частицам с размерами, большими среднего размера частиц по массе.

3.2.4 концентрация частиц (particle concentration): Число отдельных частиц в единице объема воздуха.

[ИСО 14644-1:2015, 3.2.3]

3.2.5 размер частицы (particle size): Диаметр сферы, которая в контрольном приборе дает отклик, равный отклику от оцениваемой частицы.

Примечание - Для дискретных счетчиков частиц, работающих на принципе рассеяния света, используется эквивалентный оптический диаметр.

[ИСО 14644-1:2015, 3.2.2]

3.2.6 распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц (3.2.4) в зависимости от их размеров (3.2.5).

[ИСО 14644-1:2015, 3.2.4]

3.2.7 контрольный аэрозоль (test aerosol): Взвесь твердых и/или жидких частиц в газе с известными и контролируемыми распределениями частиц по размерам и концентрацией.

3.3 Фильтры и системы очистки воздуха

3.3.1 испытание с использованием аэрозоля (aerosol challenge): Испытание фильтра или установленной системы фильтрации (3.3.6) при помощи контрольного аэрозоля (3.2.7).

3.3.2 допустимая утечка (designated leak): Максимально допустимый проскок частиц, установленный по соглашению между заказчиком и исполнителем как утечка (3.3.8), определяемая путем сканирования (3.3.9) объекта (фильтра) (3.1.3) с помощью счетчика аэрозольных частиц, работающего по принципу рассеяния света (light-scattering airborne-particle counter - LSAPC) или фотометра аэрозолей (3.6.2).

3.3.3 система разбавления (dilution system): Система, в которой аэрозоль с целью уменьшения концентрации частиц смешивается в известном соотношении объемов с воздухом, не содержащим частиц.

3.3.4 система фильтрации (filter system): Система, состоящая из фильтра, рамы и других элементов крепления фильтра или других фильтродержателей.

3.3.5 финишный фильтр (final filter): Фильтр последней ступени очистки, через который проходит воздух, перед тем как попасть в чистое помещение (3.1.1) или чистую зону (3.1.2).

3.3.6 установленная система фильтрации (installed filter system): Система фильтрации (3.3.4), вмонтированная в потолок, стену, оборудование или воздуховод.

3.3.7 испытание целостности установленной системы фильтрации (installed filter system leakage test): Испытание для проверки правильности установки фильтров путем проверки отсутствия утечек в обход объекта (фильтра) (3.1.3), а также самих фильтров и их креплений на отсутствие дефектов и утечек (3.3.8).

3.3.8 утечка (в системе фильтрации) (leak <of air filter system>): Проскок частиц, приводящий к превышению их ожидаемой концентрации после фильтра из-за нарушения целостности в системы фильтрации.

3.3.9 сканирование (scanning): Метод обнаружения утечек (3.3.8) в фильтрах и других элементах, при котором пробоотборником фотометра аэрозолей (3.6.2) или счетчика аэрозольных частиц, работающего по принципу рассеяния света, совершают перекрывающиеся движения вдоль определенной испытуемой плоскости.

3.4 Поток воздуха и другие физические свойства

3.4.1 кратность воздухообмена (air change rate, air exchange rate): Интенсивность обмена воздуха, определяемая как число обменов воздуха в единицу времени, равная отношению объема воздуха, подаваемого в единицу времени, к объему чистого помещения (3.1.1) или чистой зоны (3.1.2).

3.4.2 плоскость измерений (measuring plane): Плоскость поперечного сечения, в которой проводятся испытания или измеряются эксплуатационные параметры, такие как скорость потока воздуха.

3.4.3 неоднонаправленный поток воздуха (non-unidirectional airflow): Распределение воздуха, при котором поступающий в чистое помещение (3.1.1) или чистую зону (3.1.2) воздух смешивается с внутренним воздухом посредством подачи струи приточного воздуха.

[ИСО 14644-1:2015, 3.2.8]

3.4.4 расход приточного воздуха (supply air volume flow rate): Объем воздуха, подаваемого в чистое помещение (3.1.1) или чистую зону (3.1.2) через финишные фильтры (3.3.5) или воздуховоды в единицу времени.

3.4.5 общий расход воздуха (total air volume flow rate): Объем воздуха, который проходит через чистое помещение (3.1.1) или чистую зону (3.1.2) в единицу времени.

3.4.6 однонаправленный поток воздуха (unidirectional airflow): Контролируемый поток воздуха с постоянной скоростью и примерно параллельными линиями тока по всему поперечному сечению чистого помещения (3.1.1) или чистой зоны (3.1.2).

[ИСО 14644-1:2015, 3.2.7]

3.4.7 однородность скорости (uniformity of velocity): Характеристика однонаправленного потока воздуха (3.4.6), когда значения скорости воздуха (с учетом направления потока воздуха) в различных точках находятся в установленных пределах относительно средней скорости потока воздуха.

3.5 Измерение статического электричества

3.5.1 время разряда (discharge time): Время, необходимое для уменьшения напряжения до уровня (положительного или отрицательного), до которого изолированная проводящая контрольная пластина была заряжена первоначально.

3.5.2 напряжение смещения (offset voltage): Электрический потенциал, накапливающийся на первоначально незаряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный воздух окружающей среды.

3.5.3 рассеяние статического электричества (static-dissipative property): Свойство снижения электростатического заряда на рабочей поверхности или поверхности продукта вследствие проводимости или других механизмов до установленного значения или номинального нулевого уровня заряда.

3.5.4 поверхностное напряжение (surface voltage level): Положительный или отрицательный уровень напряжения электростатического заряда на рабочей поверхности или поверхности продукта по показаниям используемого прибора.

3.6 Контрольно-измерительное оборудование и условия контроля (испытаний)

3.6.1 генератор аэрозолей (aerosol generator): Устройство, генерирующее частицы в определенном диапазоне размеров (например, от 0,05 мкм до 2 мкм) с постоянной концентрацией, которые могут образовываться за счет теплового, гидравлического, пневматического, акустического или электростатического эффектов.

3.6.2 фотометр аэрозолей (aerosol photometer): Устройство для определения массовой концентрации аэрозольных частиц (3.2.1), работа которого основана на принципе рассеяния света, использующее оптическую камеру с прямым рассеянием света.

3.6.3 расходомер воздуха с измерительным устройством (airflow capture hood with measuring device): Прибор с устройством, которое полностью накрывает фильтр или воздушный диффузор и направляет воздух для непосредственного измерения расхода воздуха.

3.6.4 счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света, дискретный счетчик частиц (light scattering airborne particle counter, LSAPS): Устройство для счета и записи отдельных частиц (3.2.1) (с разделением по размерам) в терминах эквивалентного оптического диаметра.

Примечание - Требования к счетчикам аэрозольных частиц установлены ИСО 21501-4.

[ИСО 14644-1:2015, 3.5.1, модифицированный - исключен термин "дискретный лазерный счетчик частиц, работающий по принципу рассеяния света". Примечание 1 изменено]

3.6.5 демонстрационная пластина (witness plate): Чувствительный к загрязнениям материал с определенной площадью поверхности, используемый вместо прямого измерения загрязнения поверхности, которая находится в недоступном месте или слишком чувствительна для прямого измерения.

3.7 Состояния чистого помещения

3.7.1 построенное (as-built): Состояние, в котором монтаж чистого помещения (3.1.1) или чистой зоны (3.1.2) завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует оборудование, мебель, материалы или персонал.

[ИСО 14644-1:2015, 3.3.1]

3.7.2 оснащенное (at-rest): Состояние, в котором чистое помещение (3.1.1) или чистая зона (3.1.2) укомплектовано оборудованием и действует по соглашению между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

[ИСО 14644-1:2015, 3.3.2]

3.7.3 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение (3.1.1) или чистая зона (3.1.2) функционирует установленным образом с работающим оборудованием и заданным числом персонала.

[ИСО 14644-1:2015, 3.3.3]

4 Методы испытаний

4.1 Испытания чистых помещений

4.1.1 Общие положения

Классификация чистых помещений или чистых зон по концентрации аэрозольных частиц выполняется по ИСО 14644-1 [1]. Дополнительные показатели чистоты следует выбирать по таблице 1, если требуется.

Примечание - Каждый стандарт содержит методы контроля, основанные на характеристиках специфических свойств, руководство по оценке полученных данных и характеристики контрольного оборудования.

Таблица 1 - Методы испытаний для чистых помещений и чистых зон

Общее описание	Ссылка на
Уровни чистоты поверхностей по концентрации частиц	ИСО 14644-9 [6]
Уровни чистоты воздуха по химическим загрязнениям	ИСО 14644-8 [5]
Уровни чистоты поверхностей по химическим загрязнениям	ИСО 14644-10 [7]
Текущий контроль (мониторинг) чистоты воздуха по концентрации частиц в нанодиапазоне	ИСО 14644-12 [8]

4.1.2 Вспомогательные испытания

В таблице 2 приведены другие виды контроля, которые могут быть использованы для оценки функционирования чистого помещения или чистой зоны. Эти испытания могут выполняться в каждом из трех состояний; подробности приведены в приложении В для областей применения. Эти испытания могут не быть исчерпывающими, не все они могут требоваться для конкретного проекта. Испытания и методы испытаний следует выбирать по соглашению между заказчиком и исполнителем. Выбранные испытания могут также повторяться регулярно, как часть текущего контроля (мониторинга) или периодического контроля. Руководство по выбору этих методов испытаний и контрольный лист испытаний приведены в приложении А. Методы испытаний приведены в приложении В.

Примечание - Методы испытаний, приведенные в приложении В, имеют только справочный характер. Для конкретных областей применения могут быть разработаны специальные методы.

Таблица 2 - Вспомогательные методы испытаний

Вспомогательные испытания	Пункт ИСО 14644-3
	Область применения	Методика	Оборудование
Контроль перепада давления воздуха	4.2.1	В.1	С.2
Контроль потока воздуха	4.2.2	В.2	С.3
Контроль направления и визуализация потока воздуха	4.2.3	В.3	С.4
Контроль времени восстановления	4.2.4	В.4	С.5
Контроль температуры	4.2.5	В.5	С.6
Контроль влажности	4.2.6	В.6	С.7
Контроль утечек установленной системы фильтрации	4.2.7	В.7	С.8
Контроль герметичности ограждающих конструкций	4.2.8	В.8	С.9
Статическое электричество и генерирование ионов	4.2.9	В.9	С.10
Контроль осаждения частиц а)	4.2.10	В.10	С.11
Контроль разделения зон	4.2.11	В.11	С.12
Примечание - Настоящие вспомогательные методы испытаний представлены не в порядке их значимости или хронологии. Последовательность выполнения испытаний может определяться требованиями специальных документов или по соглашению между заказчиком и исполнителем. а) Испытание на осаждение частиц также может проводиться при аттестации чистого помещения в эксплуатации.

4.2 Основные принципы

4.2.1 Контроль перепада давления воздуха

Целью контроля перепада давления воздуха является проверка способности чистого помещения поддерживать заданный перепад давления между чистым помещением и окружающей средой. Контроль перепада давления воздуха следует выполнять после того, как подтверждены критерии приемлемости для скорости потока воздуха или расхода воздуха, однородности скорости и другие параметры. Подробное описание метода контроля перепада давления воздуха дано в В.1.

4.2.2 Контроль потока воздуха

Этот тест выполняется для определения параметров потока приточного воздуха, подаваемого в помещение как с однонаправленным, так и с неоднонаправленным потоком воздуха, или в чистые зоны. Для однонаправленного потока воздуха измеряется скорость потока приточного воздуха, как правило, в отдельных точках, чтобы определить однородность скорости потока. Средняя величина значений скорости в отдельных точках может использоваться для расчета расхода приточного воздуха и кратности воздухообмена (числа воздухообменов в час). Для неоднонаправленного потока не требуется измерять скорость в отдельных точках, поскольку однородность скорости, как правило, не требуется. В этих случаях расход воздуха может измеряться непосредственно и затем выполняться расчет кратности воздухообмена (число обменов воздуха в час) для чистого помещения или чистой зоны. Методики контроля потока воздуха приведены в В.2.

4.2.3 Контроль направления потока воздуха и методы визуализации

Целью данного теста является подтверждение направления потока воздуха и/или линии потока воздуха в соответствии с проектной и эксплуатационной документацией. При необходимости могут также проверяться пространственные характеристики потока воздуха в чистом помещении или чистой зоне. Методики контроля приведены в В.3.

4.2.4 Контроль времени восстановления

Контроль времени восстановления выполняется с целью определения способности чистого помещения или чистой зоны возвращаться к заданному уровню чистоты в течение определенного времени после кратковременного выделения частиц. Этот тест не выполняется для однонаправленного потока воздуха. Методика проведения данного теста дана в В.4. При использовании искусственного аэрозоля следует учитывать риск появления остаточных загрязнений в чистом помещении или чистой зоне.

4.2.5 Контроль температуры

Целью данного теста является проверка температуры в пределах заданных значений в течение времени, определенных заказчиком, для испытуемой зоны. Методики проведения даны в В.5.

4.2.6 Контроль влажности

Целью данного теста является проверка того, что влажность (относительная влажность или точка росы) находится в пределах заданных значений в течение времени, определенных заказчиком, для испытуемой зоны. Методики приведены в В.6.

4.2.7 Контроль установленной системы фильтрации на утечку (проскок частиц)

Данные тесты выполняются для подтверждения того, что система финишной высокоэффективной фильтрации установлена правильно путем проверки отсутствия утечек в обход фильтров в системе фильтрации и проверки того, что фильтры не имеют дефектов (мелких отверстий и других повреждений фильтрующего материала, утечек в раме, герметике). Эти тесты не выполняются для определения эффективности фильтрующего материала. Тесты выполняются путем введения аэрозоля до фильтров и сканирования поверхности фильтров и их креплений или отбора проб в воздуховоде после фильтра. Методики контроля на утечку даны в В.7.

4.2.8 Контроль герметичности ограждающих конструкций

Этот тест выполняется для обнаружения проникания не прошедшего через фильтры воздуха в чистое помещение или чистую зону из среды, окружающей чистое помещение или чистую зону, через соединения, элементы герметизации, двери и потолки, находящиеся под давлением. Методики контроля даны в В.8.

4.2.9 Контроль статического электричества и генерирования ионов

Целью данных тестов является определение уровней статического напряжения на различных предметах, способности материалов рассеивать статическое электричество и характеристик генераторов ионов (ионизаторов), применяемых для регулирования статического электричества в чистых помещениях или чистых зонах. При измерении статического электричества определяются статическое напряжение на рабочих поверхностях и поверхностях продукта, а также способность полов, поверхностей рабочих мест и других объектов рассеивать статическое электричество. Исследование генерирования ионов выполняется для оценки способности ионизаторов снижать статический заряд на поверхностях. Методики испытаний приведены в В.9.

4.2.10 Контроль осаждения частиц

Целью данного теста является оценка числа и размеров частиц, осажденных из воздуха чистого помещения на поверхность в течение согласованного периода времени. Методики проведения данного теста даны в В.10.

4.2.11 Контроль разделения зон

Целью данного теста является оценка эффективности разделения зон, достигаемого специальным потоком воздуха. Тест выполняется путем подачи частиц в менее чистую зону и определения концентрации частиц в защищаемой зоне с другой стороны линии разделения. Методики контроля даны в В.11.

5 Протоколы испытаний

Результат каждого испытания должен быть занесен в протокол испытаний, который должен содержать следующую информацию:

a) наименование и адрес организации, проводившей испытания, и дату проведения испытаний;

b) номер и дату введения настоящего стандарта (ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020);

c) подробную информацию о месте расположения чистого помещения или чистой зоны, в которых проводилось испытание (включая, при необходимости, информацию о прилегающих зонах), с указанием мест расположения всех точек отбора проб;

d) критерии, установленные для чистого помещения или чистой зоны, включая класс чистоты согласно классификации ИСО, соответствующее состояние чистого помещения или чистой зоны и рассматриваемые размеры частиц;

e) методику испытаний, включая все особые условия проведения испытания и отклонения от метода испытаний, идентификацию измерительного оборудования и действующие сертификаты его калибровки;

f) результаты испытаний, включая данные, указанные в соответствующих разделах приложения В, а также заключение, касающееся соответствия установленным требованиям;

g) другую информацию, касающуюся конкретного вида испытаний, в соответствии с рекомендациями, содержащимися в соответствующих разделах приложения В.

Библиография

[1]	ISO 14644-1:2015	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
[2]	ISO 14644-2	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
[3]	ISO 14644-4	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up
[4]	ISO 14644-7:2004	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)
[5]	ISO 14644-8	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
[6]	ISO 14644-9	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
[7]	ISO 14644-10	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
[8]	ISO 14644-12	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
[9]	ASME N510-1989	Testing of Nuclear Air-Treatment Systems
[10]	ASTM F24-00	Standard Method for Measuring and Counting Particulate Contamination on Surfaces
[11]	ASTM F50-92	Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instrument Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles
[12]	ASTM F312-97	Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from Aerospace Fluids on Membrane Filters
[13]	ASTM F1471-93	Standard Test Method for Air Cleaning Performance of a High-Efficiency Particulate Air-Filter System
[14]		Chemical Abstracts Service Registry, Columbus, Ohio, US: American Chemical Society
[15]	EN 1822-2	High efficiency air filters (HEPA and ULPA) - Part 2: Aerosol production, measuring equipment, particle counting statistics
[16]	EN 1822-4	High efficiency air filters (HEPA and ULPA) - Part 4: Determining leakage of filter element (scan method)
[17]	IEST-RP-CC001 6:2016	HEPA and ULPA Filters
[18]	IEST-RP-CC006 3:2004	Testing Cleanrooms
[19]	IEST-RP-CC007 3:2016	Testing ULPA Filters
[20]	IEST-RP-CC021 4:2016	Testing HEPA and ULPA Filter Media
[21]	IEST-RP-CC034 4:2016	HEPA and ULPA Filter Leak Tests
[22]	ISO 5167-2	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full - Part 2: Orifice plates
[23]	ISO 5167-4	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full - Part 4: Venturi tubes
[24]	ISO 5167-5	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full - Part 5: Cone meters
[25]	No JACA 24:1989	Standardization and Evaluation of Clean Room Facilities
[26]	JIS В 9921	Light scattering automatic particle counter. Japanese Industrial Standards Committee
[27]	SEMI E14-93	Measurement of particle contamination contributed to the product from the process or support tool
[28]	ISO 7726	Ergonomics of the thermal environment - Instruments for measuring physical quantities
[29]		Evaluation of measurement data - Guide to the expression of the expression of uncertainty in measurement, JCGM 100:200, corrected version 2010, (GUM)