Приложение 12. Программа создания эталонов единицы длины нового поколения в диапазоне 10(-10) - 10(-6) м на 2002 - 2006 гг.

Приложение 12

к протоколу МГС N 21-2002

Программа
создания эталонов единицы длины нового поколения в диапазоне 10(-10) - 10(-6) м на 2002 - 2006 гг.
(принята на 21-м заседании МГС, протокол N 21-2002)

1. Введение

Межгосударственная программа по созданию эталонов единицы длины в области нанометрии на 2002 - 2006 гг. (далее - Программа) разработана Государственным комитетом Российской Федерации по стандартизации и метрологии и Федеральным государственным унитарным предприятием "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (ФГУП "НИЦПВ") по предложению Научно-технической комиссии по метрологии (далее - НТКМетр) Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (далее - МГС). Проект Программы рассмотрен и одобрен на 15-м заседании НТКМетр.

Государствами - участниками настоящей Программы являются Российская Федерация (ФГУП "НИЦПВ", ФГУП "ВНИИМС"), Украина (ХГНИИМ) и Республика Беларусь (ГП "Планар-ТМ").

Настоящая Программа, состоящая из четырех заданий, представляет собой комплекс работ по разработке, принятию и применению в качестве межгосударственных эталонов единицы длины в области нанометрии, мер малой длины и государственных стандартных образцов нанорельефа поверхности твертотельных структур (эталонов сравнения).

В выполнении заданий настоящей Программы предполагается участие ведущих научно-исследовательских организаций и предприятий государств - участников Программы.

2. Актуальность проблемы

2.1. Создание новой техники, наукоемких технологий и новых материалов, обеспечивающих коренные сдвиги в структуре и техническом уровне производства, во многом определяются уровнем метрологического обеспечения измерений. Одной из важнейших задач развития наукоемких технологий является разработка новых методов и высокоточных средств линейных измерений, расширяющих диапазон измерений длины вплоть до атомных размеров.

Обеспечение единства линейных измерений в нанометровом диапазоне базируется на комплексном подходе, включающем создание и внедрение нового поколения эталонов единицы длины в нанометровом диапазоне, способов и средств передачи размера единицы длины от эталонов высокоточным рабочим средствам измерений, соответствующих современным требованиям измерительной техники и международной метрологической практики.

Значительный парк средств измерений длины в микро- и нанометровом диапазонах, а также интенсивное развитие наукоемких технологий и нанометрии в ведущих странах мира предопределяют крайнюю необходимость развития работ по созданию системы метрологического обеспечения измерений длины в нанометровом диапазоне.

2.2. Выполнение Программы позволит:

а) повысить точность и расширить диапазон линейных измерений в перспективных технологиях микро-, опто-, акусто- и наноэлектроники, прецизионного машиностроения и приборостроения, микромеханики и робототехники, генной инженерии и молекулярной биологии, экологии, медицины и в других базовых отраслях экономики;

б) обеспечить современные технологии методами и средствами прецизионных измерений поверхности твердотельных наноструктур;

в) обеспечить новым поколением мер малой длины и государственных стандартных образцов состава и свойств поверхности твердых тел на атомном и молекулярном уровнях;

г) обеспечить органы государственной метрологической службы исходными эталонами в области нанометрии.

Программа разработана в целях координации деятельности национальных органов по реализации межправительственных соглашений и решений МГС, относящихся к вопросам обеспечения единства измерений в государствах - участниках Соглашения.

Актуальность проблемы для стран СНГ обусловлена необходимостью:

- обеспечения единства и требуемой точности в области нанометрии;

- унификации методик выполнения линейных измерений с учетом рекомендаций международных организаций в области размерной метрологии;

- концентрации усилий на эффективном решении актуальных задач, связанных с разработкой и созданием межгосударственных эталонов единицы длины в области нанометрии.

2.3. Для реализации данной Программы государствам - участникам Соглашения потребуются финансовые средства в сумме 5200000 российских рублей.

3. Основная цель и механизм реализации Программы

3.1. Основная цель Программы - создание системы метрологического обеспечения в области нанометрии, обеспечивающей высокую достоверность и единство линейных измерений в нанометровом диапазоне, повышение качества, надежности и конкурентоспособности наукоемкой продукции.

Реализация Программы будет способствовать устранению технических барьеров в торгово-экономическом и научно-техническом сотрудничестве и создаст благоприятные предпосылки для продвижения продукции стран СНГ на рынки третьих стран.

Проводимые в рамках Программы мероприятия тесно увязаны с требованиями Всемирной торговой организации (ВТО).

3.2. Для выполнения заданий настоящей Программы от государства - участника Программы в качестве Государственного заказчика, выполняющего руководство работами по Программе и их финансирование, выступают национальные органы по стандартизации.

Государственными заказчиками Программы являются:

от Республики Беларусь - Госстандарт Республики Беларусь;

от Российской Федерации - Госстандарт России;

от Украины - Госстандарт Украины.

В реализации настоящей Программы примут участие ведущие национальные органы и наиболее квалифицированные специалисты государств - участников Соглашения в области стандартизации и метрологии.

Реализация мероприятий Программы позволит сэкономить государствам - участникам Соглашения финансовые средства, необходимые на проведение аналогичных работ в области нанометрии.

3.3. Функции оперативной координации работ по реализации настоящей Программы осуществляет Бюро по стандартам МГС.

Бюро по стандартам МГС осуществляет контроль за ходом выполнения Программы и ежегодно представляет отчет в МГС.

3.4. Научно-методическую координацию работ по реализации Программы осуществляет НТКМетр.

3.5. Выполнение заданий Программы по разработке и применению межгосударственных эталонов единицы длины в области нанометрии, мер малой длины и государственных стандартных образцов нанорельефа поверхности твердотельных структур осуществляется на основе договоров, заключаемых организациями-исполнителями и государственными заказчиками в установленном порядке.

4. Финансирование Программы

Финансирование заданий настоящей Программы осуществляется в основном за счет средств бюджета, выделяемых государственными заказчиками государств - участников Программы.

Каждое государство - участник Программы финансирует свою часть работ по выполнению заданий Программы. Для выполнения заданий Программы могут также привлекаться внебюджетные источники финансирования.

5. Использование результатов работ по Программе

5.1. Информация о разработанных эталонах единицы длины в области нанометрии, мерах малой длины и государственных стандартных образцах нанорельефа поверхности твердотельных структур по Программе, которые будут приняты в качестве межгосударственных и зарегистрированы Бюро по стандартам МГС, направляется в национальные органы государств - участников Соглашения.

5.2. Результатами работ по данной Программе в равной мере пользуются все участники Соглашения.

6. Заключительные положения

6.1. В настоящую Программу могут быть внесены изменения и дополнения с общего согласия национальных органов по стандартизации и по представлению НТКМетр.

6.2. Настоящая Программа открыта для участия других государств - участников Соглашения.

7. Мероприятия Программы и объемы их финансирования

Наименование задания	Государство- исполнитель, организации	Сроки выполнения, гг.	Объемы финансирования (тыс. рублей)			Ожидаемые результаты и их научное и народно-хозяйственное значение
			Всего	2002 г.	2003 г.
1. Создание эталона единицы длины в диапазоне 10(-9) - 3 х 10(-6) м на основе сканирующей зондовой микроскопии и лазерной интерферометрии. СКО - 2 х 10(-10) - 3 х 10(-9) м НСП - 6 х 10(-10) - 5 х 10(-9) м 2. Создание набора мер малой длины и государственных стандартных образцов нанорельефа поверхности твердотельных структур - эталонов сравнения. Диапазон 3 х 10(-8) - 2 х 10(-5) м. СКО - 10(-9) - 10(-8) м. НСП - 2 х 10(-9) - 1 х 10(-8) м. 3. Создание Государственного эталона единицы длины в области нанометрии. Диапазон измерений 1 х 10(-9) - 1 х 10(-6) м (U_0,99 = +- 1 х 10(-10) м СКО - 2 х 10(-10) - 1 х 10(-8) м НСП - 8 х 10(-11) - 5 х 10(-9) м 4. Создание Государственного специального эталона единицы длины в области измерения субшероховатости на базе эталонных установок нового поколения, основанных на принципах лазерной интерферометрии и туннельной микроскопии в диапазоне 5 х 10(-9) - 5 х 10(-7) м СКО - 1 х 10(-9) - 5 х 10(-7) м НСП - 2 х 10(-9) - 6 х 10(-8) м	Российская Федерация Госстандарт России ФГУП "НИЦПВ" г.Москва Республика Беларусь ГП "Планар-ТМ" Российская Федерация Госстандарт России ФГУП "НИЦПВ" г.Москва Украина ХГНИИМ г.Харьков Российская Федерация Госстандарт России ФГУП "ВНИИМС" г.Москва	2002 - 2003 2002 - 2003 2004 - 2006 2002 - 2004	800 700 2200 1500	500 500 - 700	300 200 - 500	Обеспечение единства линейных измерений в нанометровом диапазоне для освоения и внедрения наукоемких технологий Обеспечение поверки и калибровки нового класса средств измерений длины в прецизионном машиностроении, приборостроении, микромеханике и робототехнике, генной инженерии и молекулярной биологии, микро-, опто-, акусто-, наноэлектронике. Создание эталонов нового поколения в области измерений геометрических величин, повышение в 10 раз точности и расширение на 2 - 3 порядка диапазона измерений ГПЭ метра Метрологическое обеспечение высоких технологий наноэлектроники, аэрокосмической, атомной, автомобильной промышленности, другие наукоемкие производства реального сектора экономики