Приложение В (обязательное). Требования к верификации первичных эталонных тестовых символов

Приложение В
(обязательное)

Требования
к верификации первичных эталонных тестовых символов

Первичная верификация первичных эталонных символов относится к измерению с помощью устройства, воспроизводящего методику типовых коммерческих верификационных устройств и обеспечивает привязку к национальным эталонам единиц коэффициента отражения и длины с погрешностью в 10 раз меньшей, чем для коммерческих верификационных устройств. Кроме того, устройство первичной верификации должно обеспечивать воспроизводимость результатов в десять раз лучшую, чем типовые коммерческие верификационные устройства. Как правило, средством измерения для первичной верификации служит сканирующий микроденситометр высокого разрешения.

Измерение линейного расстояния должно базироваться на использовании штриховой меры, выполненной на основе хрома, нанесенного на стекло, лазерного интерферометра или эквивалентного устройства и должно обеспечивать привязку к национальной эталонной мере длины, выполненной на основе хрома, нанесенного на кварц.

Измерение коэффициента отражения должно базироваться на аналого-цифровом преобразовании с высоким разрешением ( 10 битов) выходного напряжения детектора отраженного света и должно обеспечивать привязку к национальной эталонной мере коэффициента отражения.

Воспроизводимость результата измерения линейного расстояния должна быть в пределах  0,5 мкм для наихудшего случая ширины элемента при пересечении 39 элементов в пяти сканированиях по одному и тому же пути сканирования. Воспроизводимость результата измерения коэффициента отражения должна быть в пределах  0,5 % для наихудшего случая при пересечении 19 пробелов и двух свободных зон в пяти сканированиях по одному и тому же пути сканирования.