Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. N 3189 "Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей"

В соответствии с Положением об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. N 734, требованиями к содержанию и построению государственных поверочных схем и локальных поверочных схем, в том числе к их разработке, утверждению и изменению, утвержденными приказом Министерства промышленности и торговли Российской Федерации от 11 февраля 2020 г. N 456, Планом разработки, пересмотра и утверждения государственных поверочных схем на 2022 год, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12 апреля 2022 г. N 940, а также принимая во внимание раздел I протокола научно-технической комиссии по метрологии и измерительной технике Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 ноября 2021 г. N 179-пр приказываю:

1. Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей (далее - ГПС).

2. Установить, что:

ГПС применяется для Государственного первичного специального эталона единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей (ГЕТ 183-2022), эталонов и средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей и вводится в действие с 20 декабря 2022 г.;

эталоны, аттестованные на соответствие требованиям государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей, утвержденной приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 25 ноября 2019 г. N 2819 "Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей" (далее - Приказ N 2819) или локальным поверочным схемам, применяются до даты окончания срока действия свидетельства об аттестации, выданного до ввода в действие ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие требованиям Приказа N 2819, соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат периодической аттестации на соответствие ГПС не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации, в документы на эталоны вносятся соответствующие изменения;

эталоны, аттестованные на соответствие требованиям Приказа N 2819, не соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

информация о прекращении применения эталонов по Приказу N 2819 или локальным поверочным схемам, или об изменении ГПС для эталонов, не требующих переутверждения, передается держателем эталона в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (далее - Федеральный фонд) после даты окончания срока действия свидетельства об аттестации.

3. ФГБУ "ВНИИМС" внести сведения о ГПС в Федеральный фонд.

4. Управлению метрологии, государственного контроля и надзора Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационно-телекоммуникационной сети "Интернет".

5. Признать утратившим силу приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 25 ноября 2019 г. N 2819 "Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей" с 20 декабря 2022 г.

6. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя /

Е.Р. Лазаренко

ГАРАНТ:

Настоящая Государственная поверочная схема вводится в действие с 20 декабря 2022 г.

УТВЕРЖДЕНА
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 15 декабря 2022 г. N 3189

Государственная поверочная схема
для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей

1. Область применения

1.1. Настоящая государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей от государственного первичного специального эталона (далее - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности (ГЭТ 183-2022) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи.

1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей представлена в Приложении А.

1.3. Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

2. Обозначения и сокращения

2.1. В настоящей государственной поверочной схеме применены следующие обозначения и сокращения:

PV - параметр отклонения от плоскостности (максимальный размах);

PV _S - параметр отклонения от сферичности (максимальный размах);

PV _H - отклонение от прямолинейности.

3. Государственный первичный специальный эталон

3.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм и параметров отклонений от сферичности PV _S оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм и передачи единицы при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

3.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

автоматизированная установка на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов для измерений отклонений формы плоских оптических поверхностей "ФИЗО" (далее - "ФИЗО");

эталонная интерференционная установка на базе Физо-интерферометрии для измерений параметров отклонений формы выпуклых и вогнутых сферических поверхностей "ФТИ" (далее - "ФТИ");

эталонная интерференционная установка с ортогональным ходом лучей для измерений отклонений формы выпуклых сферических поверхностей "УИП" (далее - "УИП").

Вспомогательное оборудование:

меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм.

комплект мер отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей c разными номинальными радиусами кривизны поверхности R (R = 124,74 мм, R = 195,88 мм, R = 265,5 мм, R = 453,9 мм, R = 561,0 мм и R = 799,8 мм);

мера отклонения от сферичности c номинальным радиусом кривизны поверхности R = 12,7 мм.

3.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм в диапазоне от 0,002 до 2,0 мкм с метрологическими характеристиками, указанными в таблице 1, и параметров отклонений от сферичности PV _S оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм в диапазоне от 0,002 до 2,0 мкм с метрологическими характеристиками, указанными в таблицах 2-3.

Таблица 1 - Метрологические характеристики эталонной установки "ФИЗО", входящей в состав ГПСЭ

Наименование характеристики	Диапазон размеров оптических поверхностей, мм	Значение, нм
Среднее квадратическое отклонение результата измерений при 30 независимых измерениях, S	от 50 до 100	0,8
	св. 100 до 200	1,4
	св. 200 до 280	1,5
Неисключенная систематическая погрешность,	от 50 до 100	1,7
	св. 100 до 200	2,4
	св. 200 до 280	5,2
Стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u A	от 50 до 100	0,8
	св. 100 до 200	1,4
	св. 200 до 280	1,5
Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u B	от 50 до 100	0,9
	св. 100 до 200	1,3
	св. 200 до 280	2,7
Суммарная стандартная неопределенность, u C	от 50 до 100	1,2
	св. 100 до 200	1,9
	св. 200 до 280	3,1
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, U	от 50 до 100	2,4
	св. 100 до 200	3,8
	св. 200 до 280	6,2

Таблица 2 - Метрологические характеристики эталонной установки "ФТИ", входящей в состав ГПСЭ

Наименование характеристики	Диапазон размеров оптических поверхностей, мм	Значение, нм
Среднее квадратическое отклонение результата измерений при 30 независимых измерениях, S	вогнутые от 25 до 250	10,0
	выпуклые 25 до 80	10,0
Неисключенная систематическая погрешность,	вогнутые от 25 до 250	35,0
	выпуклые от 25 до 80	35,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u A	вогнутые от 25 до 250	3,0
	выпуклые от 25 до 80	3,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u B	вогнутые от 25 до 250	9,5
	выпуклые от 25 до 80	9,5
Суммарная стандартная неопределенность, u C	вогнутые от 25 до 250	10,0
	выпуклые от 25 до 80	10,0
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, U	вогнутые от 25 до 250	20,0
	выпуклые от 25 до 80	20,0

Таблица 3 - Метрологические характеристики эталонной установки "УИП", входящей в состав ГПСЭ

Наименование характеристики	Диапазон размеров оптических поверхностей, мм	Значение, нм
Среднее квадратическое отклонение результата измерений при 30 независимых измерениях, S	выпуклые св. 80 до 250	10,0
Неисключенная систематическая погрешность,	выпуклые св. 80 до 250	72,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u A	выпуклые св. 80 до 250	5,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u B	выпуклые св. 80 до 250	28,0
Суммарная стандартная неопределенность, u C	выпуклые св. 80 до 250	30,0
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, U	выпуклые св. 80 до 250	60,0

3.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины с указанной погрешностью должны соблюдаться правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

3.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

3.6. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от сферичности оптических поверхностей рабочим эталонам методом прямых измерений.

4. Рабочие эталоны

4.1. Рабочие эталоны 1-й части

4.1.1. Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют меры отклонения от плоскостности размером до 280 мм в диапазоне параметра PV до 0,08 мкм.

4.1.1.2. Доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 1-го разряда составляет 0,01 мкм.

4.1.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го, 4-го разрядов и средств измерений методом прямых измерений.

4.1.2. Рабочие эталоны 2-го разряда

4.1.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм в диапазоне измерений PV от 0,002 до 2,00 мкм.

4.1.2.2. Предел допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 2-го разряда составляет 0,02 мкм.

4.1.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда методом прямых измерений.

4.1.3. Рабочие эталоны 3-го разряда

4.1.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют пластины плоские стеклянные размером от 60 до 120 мм в диапазоне параметра PV до 0,06 мкм.

4.1.3.2. Доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 3-го разряда составляет 0,04 мкм.

4.1.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда и средств измерений методами непосредственного сличения и прямых измерений.

4.1.4. Рабочие эталоны 4-го разряда

4.1.4.1. В качестве рабочих эталонов 4-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм и интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм в диапазоне измерений PV от 0,002 до 2,00 мкм и бруски контрольные длиной от 150 до 500 мм в диапазоне измерений PV _H до 1,00 мкм.

4.1.4.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 4-го разряда составляют от 0,08 до 0,09 мкм, доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 4-го разряда составляет 0,12 мкм.

4.1.4.3. Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки средств измерений методами непосредственного сличения и прямых измерений.

4.2. Рабочие эталоны 2-й части

4.2.1. В качестве рабочих эталонов применяют меры отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей размером от 25 до 250 мм в диапазоне измерений PV _S до 0,06 мкм.

4.2.2. Доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов составляет от 0,03 до 0,06 мкм.

4.2.3. Рабочие эталоны применяют для поверки средств измерений методом прямых измерений.

5. Средства измерений

5.1. Средства измерений 1-й части

5.1.1. В качестве средств измерений применяют пластины плоскопараллельные стеклянные размером от 15 до 91 мм, пластины плоские стеклянные размером до 120 мм, приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических размером до 120 мм, меры отклонений от плоскостности размером до 280 мм и приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм в диапазоне измерений параметра PV от 0,002 до 2,0 мкм и линейки лекальные длиной от 50 до 500 мм, бруски контрольные длиной от 100 до 1000 мм в диапазоне измерений параметра PV _H до 4,0 мкм.

5.1.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений составляют от 0,08 до 0,3 мкм.

5.2. Средства измерений 2-й части

5.2.1. В качестве средств измерений применяют приборы для измерений параметров отклонений формы сферических поверхностей размером от 25 до 1000 мм в диапазоне измерений PV _S от 0,002 до 2,0 мкм.

5.2.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений составляют от 0,06 до 0,24 мкм.

Приложение А

Государственная поверочная схема
для средств измерений параметров отклонении от плоскостности и сферичности оптических поверхностей

Часть 1. Средства измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей

ГАРАНТ:

См. Часть 1 Государственной поверочной схемы в редакторе Adobe Reader

Часть 2. Средства измерений параметров отклонений от сферичности оптических поверхностей

ГАРАНТ:

См. Часть 2 Государственной поверочной схемы в редакторе Adobe Reader