Приложение B (справочное). Дополнительные необязательные проверки

Приложение B
(справочное)

Дополнительные необязательные проверки

B.1 Общие положения

Могут быть выполнены дополнительные проверки для получения данных о влиянии процесса и окружающей среды (в качестве опции).

B.2 Оценка для различных стадий жизненного цикла работы оборудования

Оценка пригодности к использованию в чистом помещении обычно выполняется для нового оборудования, которое эксплуатировалось в течение ограниченного времени.

Эмиссия частиц от оборудования или его частей меняется в течение жизненного цикла. В B.2 сделаны следующие допущения относительно выделения частиц в течение срока эксплуатации. Эмиссия частиц с течением времени может быть рассмотрена для трех стадий:

a) стадия приработки: в начале эксплуатации оборудования с движущимися частями эмиссия частиц обычно снижается;

b) стадия установившейся работы: происходят флуктуации эмиссии частиц относительно среднего значения;

c) стадия старения: износ оборудования или его частей приводит к увеличению эмиссии.

На основе полученных по 6.2 данных как для отдельных стадий, так и в течение длительного времени, может быть выполнен анализ тенденций.

B.3 Метод оценки осаждения частиц

Для частиц с размерами (например, > 10 мкм), которые не могут быть надежно обнаружены счетчиками частиц, работающими по принципу рассеяния света (LSAPC), может использоваться метод согласно разделу 10 ИСО 14644-3:2005.

Для получения распределения осевших частиц по размерам могут использоваться одна или более демонстрационных пластин, которые можно контролировать на месте или вне чистого помещения. Результат определяется по изменению чистоты поверхности по концентрации частиц на пластине до и после экспонирования согласно ИСО 14644-9. Результат может быть представлен как число частиц с размерами более величины D (мкм) на единицу площади в единицу времени.

B.4 Метод определения общей эмиссии

B.4.1 Основные положения

Методы определения общей эмиссии позволяют оценить возможное влияние загрязнения частицами, выделяемыми оборудованием, на чистое помещение при эксплуатации.

Примечание - Эти данные могут использоваться при проектировании чистых помещений или при оснащении существующих чистых помещений оборудованием.

Метод определения общей эмиссии распространяется на чистые помещения или чистые зоны с неоднонаправленным потоком воздуха классов от 6 ИСО до 9 ИСО.

Эти методы не предназначены для обнаружения местных источников частиц и дают усредненные значения общей эмиссии частиц с течением времени с учетом точек с высокой концентрацией частиц. Вариации в эмиссии частиц усредняются.

Общая концентрация выделенных оборудованием частиц за определенное время и объем воздуха сравниваются с концентрацией частиц в приточном воздухе и расходом воздуха.

До начала проверки следует провести визуальный контроль оборудования и контроль окружающей среды для испытаний (раздел 5).

Следует выполнить требования и условия, аналогичные тем, которые установлены для метода контроля в точках с высокой концентрацией частиц (6.2.2).

Примечание - Методы оценки общей эмиссии рассмотрены в различных руководствах (IEST-RP-СС026.2, JIS B 9926, VDI 2083-9.1). Данный стандарт устанавливает методы оценки пригодности оборудования к использованию в чистом помещении.

B.4.2 Требования к окружающей среде для испытаний

Оборудование должно полностью находиться в контролируемой окружающей среде для испытаний. Объем этой среды должен быть того же порядка, что и объем среды, требуемый для работы оборудования.

В этой среде должен быть обеспечен однонаправленный поток воздуха (от HEPA или ULPA фильтров), или она должна иметь класс чистоты по крайней мере на один класс выше, чем среда, в которой будет работать оборудование.

Поскольку данный метод предназначен для чистых помещений классов от 6 ИСО до 9 ИСО, то рекомендуется, чтобы приточный воздух или окружающая среда имели класс 5 ИСО или лучше.

В окружающей среде для испытаний не должны находиться иные источники частиц, которые могут оказать влияние на результат испытаний.

Следует определить исходную концентрацию частиц в окружающей среде для испытаний. Рекомендуется проверить как можно больший объем воздуха. Следует убедиться в том, что проверяемая проба воздуха является представительной. Для получения равномерного распределения может потребоваться перемешивание воздуха и сужение в виде воронки.

B.4.3 Подготовка к определению общей эмиссии

При контроле общей эмиссии происходит увеличение концентрации частиц в воздухе, проходящем через контрольно-измерительное оборудование, из-за выделения частиц этим оборудованием. Для оценки такого увеличения следует сначала проверить создаваемый им фон. В связи с этим перед началом проверки нужно выполнить следующее:

a) определить чистоту воздуха в контрольно-измерительном оборудовании;

b) выполнить измерения при отсутствии оборудования и при наличии неработающего оборудования (в оснащенном состоянии). Записать полученные фоновые значения (точки отбора проб и концентрации частиц);

c) макрочастицы могут быть обнаружены методом осаждения (B.3).

B.4.4 Оценка общей эмиссии от оборудования

После помещения оборудования в окружающую среду для испытаний и включения его в работу или нахождения его в неработающем (оснащенном) состоянии следует определить концентрацию частиц в выходящем воздухе тем же счетчиком частиц, что и при подготовке к проверке.

B.4.5 Вычисление средней общей эмиссии от оборудования

Следует записать результаты контроля общей эмиссии (точки и концентрации). Из этих значений следует вычесть значения фоновой концентрации, полученные ранее.

Среднее значение общей эмиссии частиц от оборудования определяется по формуле

,

(B.1)

где P - интенсивность эмиссии от оборудования, число частиц в единицу времени;

C - увеличение концентрации частиц от присутствия (работы) оборудования, частиц/м ³;

Q - расход воздуха в м ³ за единицу времени.

В качестве единицы времени могут использоваться секунда, минута, час.

B.4.6 Оценка влияния общего загрязнения частицами

Для оценки влияния общего загрязнения частицами следует учесть интенсивность выделения частиц, расход (объем) воздуха и кратность воздухообмена в предполагаемой окружающей среде.