Приложение А (обязательное). Интервалы определяемых значений концентрации примесей

Приложение А
(обязательное)

Интервалы определяемых значений концентрации примесей

Таблица А.1

Измеряемые примеси	Интервалы значений примесей
	спектрометр дифракционный		спектрометр кварцевый
	массовая доля примеси, %	объемная плотность примеси, атом/см 3	массовая доля примеси, %	объемная плотность примеси, атом/см 3
Алюминий	От 5 10 -7 до 6 10 -5 включ.	От 2 10 14 до 3 10 16 включ.	От 5 10 -7 до 2 10 -4 включ.	От 2 10 14 до 1 10 15 включ.
Висмут	>> 1 10 -8 >> 6 10 -6 >>	>> 6 10 11 >> 4 10 14 >>	>> 5 10 -8 >> 6 10 -5 >>	>> 3 10 12 >> 4 10 15 >>
Галлий	>> 3 10 -9 >> 5 10 -7 >>	>> 6 10 11 >> 1 10 14 >>	>> 3 10 -8 >> 5 10 -6 >>	>> 6 10 12 >> 1 10 15 >>
Железо	>> 1 10 -7 >> 2 10 -5 >>	>> 3 10 13 >> 5 10 15 >>	>> 1 10 -7 >> 2 10 -4 >>	>> 3 10 13 >> 5 10 16 >>
Золото	>> 1 10 -8 >> 2 10 -5 >>	>> 7 10 11 >> 1 10 15 >>	>> 3 10 -8 >> 2 10 -4 >>	>> 2 10 12 >> 1 10 16 >>
Индий	>> 2 10 -8 >> 5 10 -6 >>	>> 2 10 12 >> 6 10 14 >>	>> 5 10 -8 >> 2 10 -5 >>	>> 6 10 12 >> 2 10 15 >>
Кадмий	>> 1 10 -8 >> 6 10 -6 >>	>> 1 10 12 >> 8 10 14 >>	>> 3 10 -8 >> 2 10 -5 >>	>> 4 10 12 >> 3 10 15 >>
Калий	>> 6 10 -7 >> 6 10 -4 >>	>> 2 10 14 >> 2 10 17 >>	-	-
Кальций	>> 1 10 -7 >> 6 10 -5 >>	>> 4 10 13 >> 2 10 16 >>	>> 1 10 -6 >> 2 10 -4 >>	>> 4 10 14 >> 7 10 16 >>
Кобальт	>> 3 10 -8 >> 2 10 -5 >>	>> 7 10 12 >> 5 10 15 >>	>> 7 10 -8 >> 2 10 -4 >>	>> 2 10 13 >> 5 10 16 >>
Магний	>> 5 10 -7 >> 2 10 -5 >>	>> 3 10 14 >> 1 10 16 >>	>> 5 10 -7 >> 2 10 -4 >>	>> 3 10 14 >> 1 10 17 >>
Марганец	>> 1 10 -8 >> 2 10 -6 >>	>> 3 10 12 >> 5 10 14 >>	>> 3 10 -8 >> 2 10 -5 >>	>> 8 10 12 >> 5 10 15 >>
Медь	>> 7 10 -9 >> 5 10 -6 >>	>> 2 10 12 >> 1 10 15 >>	>> 7 10 -9 >> 1 10 -5 >>	>> 2 10 12 >> 2 10 15 >>
Мышьяк	>> 5 10 -7 >> 5 10 -4 >>	>> 9 10 13 >> 9 10 16 >>	>> 3 10 -6 >> 3 10 -3 >>	>> 6 10 14 >> 6 10 17 >>
Натрий	>> 1 10 -6 >> 5 10 -4 >>	>> 6 10 14 >> 3 10 17 >>	-	-
Никель	>> 3 10 -8 >> 6 10 -6 >>	>> 7 10 12 >> 1 10 15 >>	>> 7 10 -8 >> 2 10 -4 >>	>> 2 10 13 >> 5 10 16 >>
Олово	>> 1 10 -8 >> 6 10 -6 >>	>> 1 10 12 >> 7 10 14 >>	>> 5 10 -8 >> 2 10 -4 >>	>> 6 10 12 >> 2 10 16 >>

Свинец	>> 1 10 -8 >> 6 10 -6 >>	>> 7 10 11 >> 4 10 14 >>	>> 1 10 -7 >> 2 10 -4 >>	>> 7 10 12 >> 1 10 16 >>
Серебро	>> 1 10 -9 >> 6 10 -7 >>	>> 1 10 11 >> 8 10 13 >>	>> 3 10 -9 >> 3 10 -6 >>	>> 4 10 11 >> 4 10 14 >>
Сурьма	>> 2 10 -7 >> 6 10 -5 >>	>> 2 10 13 >> 7 10 15 >>	>> 6 10 -7 >> 2 10 -4 >>	>> 7 10 13 >> 2 10 16 >>
Фосфор	>> 3 10 -7 >> 5 10 -5 >>	>> 1 10 14 >> 2 10 16 >>	>> 7 10 -7 >> 2 10 -4 >>	>> 3 10 14 >> 9 10 16 >>
Хром	>> 3 10 -8 >> 6 10 -6 >>	>> 8 10 12 >> 2 10 15 >>	>> 8 10 -8 >> 2 10 -4 >>	>> 2 10 13 >> 5 10 16 >>
Цинк	>> 5 10 -8 >> 2 10 -5 >>	>> 1 10 13 >> 4 10 15 >>	>> 1 10 -7 >> 2 10 -4 >>	>> 2 10 13 >> 4 10 16 >>