Раздел "Полупроводниковое производство"

1. Производство и обработка полупроводниковых материалов

§ 1. Аппаратчик восстановления полупроводниковых материалов

3-5-разряды

Характеристика работ. Ведение процессов восстановления полупроводниковых материалов (хлориды кремния, германия, моносилана и др.) в электрических печах с заданными электрофизическими, фотоэлектрическими и оптическими свойствами, геометрическими размерами, а также конденсации продуктов реакции из парогазовой смеси. Дозированное легирование в процессе восстановления. Наблюдение за режимами процессов и их регулирование. Регулирование температуры процесса согласно режимной карте, скорости подачи исходных компонентов и газа-восстановителя, силы тока и напряжения, давления и разрежения в системе, расхода газа и охлаждаемой воды. Наладка и обслуживание печей, вакуумной аппаратуры, установок тонкой очистки водорода, установок конденсации продуктов реакции, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов. Подготовка лигатуры, графитовой и другой оснастки. Отбор проб. Продувка реактора нейтральным газом. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования. Монтаж и демонтаж печей. Снятие реактора и переноска его к месту демонтажа. Проверка герметичности печей. Зарядка и наладка аппаратуры. Мойка реактора. Чистка печей, воздуховодов, конденсаторов от побочных продуктов реакции. Ведение записей показателей работы печи, хода технологического процесса. Вскрытие печей после процесса и выгрузка готовой продукции. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и помещений при загрязнении их токсичными веществами.

Должен знать: технологическую схему производства; режимы и методы восстановления полупроводниковых материалов; устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации; физико-химические свойства сырья, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы, основы легированная и правила расчета лигатуры; режимные карты и рабочие инструкции; основы электротехники, вакуумной техники, физики, химии, электроники, кристаллографии; основы технологических процессов; правила выявления и устранения неисправностей в работе обслуживаемого оборудования; системы технологических и энергетических коммуникаций.

При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд.

При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с корректировкой процесса; при подготовке и обработке оснастки - 4-й разряд.

При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с отработкой технологии по заданным свойствам, наладке технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 2. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент

3-й разряд

Характеристика работ. Выращивание монокристаллов без жестких электрофизических параметров. Ведение процессов синтеза и выращивания многокомпонентных полупроводниковых материалов, очистки исходных элементов, применяемых для синтеза, путем зонной плавки, направленной кристаллизации Чохральского, термообработки, высокотемпературной ректификации и дистилляции под руководством аппаратчика более высокой квалификации. Приготовление лигатур методом сплавления, дозированный разлив и расфасовка в герметичные контейнеры. Загрузка полученного продукта в контейнеры и их герметизация. Обслуживание вакуумных установок с высокочастотным нагревом, их подготовка, пуск и остановка, загрузка и разгрузка. Наблюдение за режимами процесса и регулирование их. Контроль за работой приточно-вытяжной вентиляции, сигнализаторами горючих и токсичных газов, величиной давления газов в газопроводах. Своевременное определение неисправностей в работе установок и принятие мер к их устранению. Запись режимов процесса по показаниям приборов в журнале. Поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и помещений при заражении их токсичными веществами.

Должен знать: принцип работы обслуживаемого основного и вспомогательного оборудования; назначение и устройство контрольно-измерительных приборов, средств сигнализации и автоматики; физико-химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов, реактивов, газов; магнитные и технологические свойства выращиваемых сплавов; основные законы электротехники в пределах выполняемой работы.

§ 3. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент

4-й разряд

Характеристика работ. Ведение технологического процесса выращивания монокристаллов органических и неорганических материалов с соблюдением требований по структуре и геометрическим размерам. Обслуживание вакуумных установок с индукционным нагревом, с нагревателем электросопротивления, а также генераторов высокой частоты. Отжиг исходных материалов и выращенных монокристаллов для получения необходимых параметров. Подготовка сырья и аппаратуры для роста кристаллов. Регулирование температуры плавления и кристаллизации, диаметра получаемого слитка, напряжения, вакуума, расхода газа и охлаждаемой воды по показаниям контрольно-измерительных приборов и визуально. Ведение технической документации. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования. Проверка герметичности оборудования.

Должен знать: устройство, способы наладки и проверки обслуживаемого основного и вспомогательного оборудования; сущность технологического процесса роста монокристаллов и правила регулирования его; назначение контрольно-измерительных приборов, их устройство и условия применения; ГОСТы и технические условия на готовую продукцию; способы выявления и устранения неисправностей в работе оборудования, предупреждения брака и производственных потерь; нормы расхода сырья на единицу готовой продукции; основы теории в пределах выполняемой работы.

§ 4. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса выращивания монокристаллов различных материалов с повышенными требованиями по структуре, геометрическим размерам, электрофизическим, оптическим, фотоэлектрическим параметрам. Подборка и настройка температурных режимов установок. Управление печами периодического и непрерывного действия. Обслуживание установок с автоматической регулировкой температуры и технологического режима выращивания монокристаллов в контролируемой среде.

Должен знать: устройство различных типов и конструкций основного и вспомогательного оборудования, применяемого для получения монокристаллов; методы составления и правила использования программ выращивания монокристаллов; виды термопар и область их применения; основы физики, химии, электро- и вакуумной техники, технологию получения чистых веществ.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 5. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса выращивания монокристаллов различных материалов всеми известными методами. Ведение процесса выращивания опытных образцов монокристаллов. Освоение нового, более производительного технологического оборудования. Расчет шихты для плавки, введение в шихту лигатуры в соответствии с ее заданным составом с учетом сопротивления загруженных материалов. Наладка и обслуживание установок в процессе работы. Выявление неисправностей электрической части оборудования. Определение годности слитков монокристаллов.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность установок по выращиванию монокристаллов; методы и способы выращивания кристаллов из различных полупроводниковых материалов; виды и применение выращиваемых монокристаллов; основы кристаллографии; физико-химические и электрические свойства полупроводниковых материалов; различные расчеты, связанные с выполнением работ.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 6. Аппаратчик по обслуживанию рекуператоров и системы охлаждения

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса подогрева вторичного воздуха для циклонной печи и подогрева воздуха, идущего на сушку материалов. Регулирование температуры в цепи аппаратов газового тракта. Отбор проб. Наблюдение за монометрическим и температурным режимами аппаратов и выходом грубых возгонов (оборотных материалов), за поступлением воды в змеевики и кессоны водоохлаждаемых аппаратов. Переключение газопроводов. Выгрузка из аппаратов уловленной пыли. Очистка газопроводов и водоохлаждаемых поверхностей оборудования от осевших материалов. Обслуживание дробеочистки рекуператора, запорных и выпускаемых затворов, дросселей, задвижек и другого оборудования, участие в их ремонте. Охлаждение газов водой путем впрыскивания ее форсунками. Увлажнение и затаривание материалов.

Должен знать: устройство аппаратов, выпускных механизмов и другого обслуживаемого оборудования, их назначение и взаимодействие; влияние тяги и температуры газа на режим работы всего газового тракта цеха; схему газовой, воздушной и водяной коммуникаций; состав газов; виды и основные свойства возгонов и сырья; требования, предъявляемые к обслуживанию аппаратов.

При выполнении работ под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.

§ 7. Аппаратчик по получению высокочистых материалов для полупроводникового производства

3-5 разряды

Характеристика работ. Ведение процессов очистки водорода от примесей и его осушки, получения заготовок из синтетической двуокиси кремния методом высокотемпературного гидролиза, термообработки заготовок (остекловывания), раздувки или обжига при изготовлении изделий и аппаратов требуемых геометрических размеров, доводка их вручную. Проверка герметичности коммуникаций. Продувка системы азотом. Подача очищенного водорода к печам восстановления. Обслуживание пульта управления очистки и вакуумных насосов. Контроль за температурой на адсорберах; блока очистки водорода. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья, полуфабрикатов, реактивов и их дозирование. Peгулирование температуры процесса, вакуума, подачи воды, газа. Приготовление растворов кислот и щелочей заданной концентрации. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание печей, аппаратов, механизмов, электроустановок, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение записи показателей работы обслуживаемого оборудования, хода технологического процесса. Постоянное поддержание технологической чистоты оборудования и рабочего места. Выявление устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Участие в ремонте механической части оборудования.

Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики, сигнализации и сосудов, работающих под давлением; физико-химические и технологические свойства применяемого сырья, полуфабрикатов, реактивов, газов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; нормы расхода сырья на единицу готовой продукции; физико-химические основы технологического процесса; технологическую схему производства; способы устранения неисправностей в работе, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники.

При выполнении работ по термической обработке заготовок (остекловыванию) и выполнении вспомогательных работ по очистке и осушке водорода - 3-й разряд.

При ведении процесса высокотемпературного гидролиза, раздувки и обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния; очистки и осушки водорода под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.

При ведении процесса высокотемпературного гидролиза; раздувки или обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния, очистки и осушки водорода, наладки технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.

§ 8. Аппаратчик по производству и химической очистке полупроводниковых материалов

3-6 разряды

Характеристика работ. Ведение процессов получения хлоридов и других соединений и элементов, их химической и сорбционной очистки. Ведение процесса очистки полупроводниковых материалов методом электрорафинирования с предварительной гидрохимической обработкой. Ведение процесса получения гидроокиси и выделения полупроводниковых элементов методом электролиза из растворов. Ведение процесса нейтрализации сточных и промывных вод и обезвреживания отходящих газов до санитарных норм, разложения сплавов, отходов, концентратов и других материалов, содержащих полупроводниковые элементы и конденсации хлоридов. Отбор проб. Ведение процесса гидролиза хлоридов и осаждения солей, содержащих полупроводниковые элементы. Получение хлористого водорода и его соединений. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов и их дозирование, фильтрация, химическая и гидрохимическая обработка сырья. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание аппаратов, механизмов, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Снятие, дегазация, установка контрольно-измерительных приборов. Ведение технической документации, учет готовой продукции. Выявление и устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.

Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации; способы устранения неисправностей в работе оборудования, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники; физико-химические и технологические свойства сырья, полуфабрикатов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; схему коммуникаций; технологическую схему производства.

При ведении процессов нейтрализации, химической очистки, фильтрации, осаждения, гидролиза под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд.

При ведении процессов нейтрализации, химической очистки, фильтрации, осаждения, гидролиза; ведении процессов ректификации хлоридов и силанов, очистки полупроводниковых элементов методом электрорафинирования под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.

При ведении процесса ректификации хлоридов и силанов при очистке полупроводниковых элементов методом электрорафинирования; при ведении процессов получения силанов, гидроокиси и других элементов и соединений путем хлорирования, непрерывного гидролиза и электролиза, наладки технологии и технологического оборудования под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 5-й разряд.

Требуется среднее профессиональное образование.

При ведении процессов получения силанов, гидроокиси и других элементов и соединений путем хлорирования, непрерывного гидролиза и электролиза, наладки технологии и технологического оборудования - 6-й разряд.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 9. Аппаратчик по химической обработке полупроводниковых материалов

2-4 разряд

Характеристика работ. Ведение процесса химической обработки металла, технологической оснастки, кварцевых изделий, тары в кислотах, щелочах и смеси кислот. Подготовка к травлению и сушка металла и изделий. Перегонка кислот, подготовка растворов кислот, щелочей и солей требуемой концентрации. Подготовка, наладка и обслуживание аппаратуры для химической обработки металла, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение технической документации. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.

Должен знать: технологию химической обработки исходных материалов, полупродуктов, полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; виды и свойства кислот, щелочей, солей и других реактивов и материалов, применяемых для химической обработки, правила обращения с ними и хранения; причины брака, меры предупреждения и устранения его; физико-химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию, вспомогательные материалы; правила работы с высокочистыми материалами; технологическую схему производства; основы физики, химии, химии чистых веществ в объеме программы средней школы; технологические карты и рабочие инструкции.

При выполнении вспомогательных работ по химической обработке полупроводниковых материалов, материалов интерметаллических соединений;

при химической обработке технологической оснастки и тары - 2-й разряд.

При химической обработке полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; приготовлении исходных растворов для химической обработки; перегонке кислот - 3-й разряд.

При сложной химической обработке в двух и более травителях - 4-й разряд.

§ 10. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов

2-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса получения сплавов из благородных и редких металлов в электрической печи. Взвешивание на аналитических весах металлов, входящих в сплав. Обезжиривание сплавов, сушка. Подготовка ковша и загрузка кварцевых ампул навесками металлов. Изготовление электродных навесок коллектора из прецизионных сплавов. Проведение процессов литья электродных шариков коллектора, прокатка сплава коллектора и резка на электроды. Сортировка электродов по размерам, химическая обработка готовых электродов. Приготовление растворов для обработки.

Должен знать: принцип действия и блок-схему установки для литья; назначение и условия применения соответствующего вспомогательного оборудования; основные физико-химические свойства металлов, входящих в сплав; назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, приспособлений и инструментов, аналитических и технических весов; свойства материалов, используемых для обработки сплавов; оснастки (органические растворители, кислоты, щелочи), правила обращения с ними; правила приготовления растворов, смесей для обработки.

Примеры работ

Сплавы двух- и трехкомпонентные (свинец-серебро-олово; фосфор-индий-галлий; олово-свинец-сурьма; индий-сурьма-галлий; германий-сурьма-олово; свинец-индий, мышьяк-германий) - приготовление.

§ 11. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов

3-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов плавки благородных и редких металлов в печах различных типов с применением вакуумной установки для создания вакуума в кварцевых ампулах с навесками металлов, на установках приготовления сплавов и открытым способом в ковшах. Изготовление пластин литьем из высокотемпературных сплавов. Изготовление электродных навесок эмиттера и базы из прецизионных сплавов. Проведение процессов изготовления электродных шариков эмиттера и базы, прокатка сплава эмиттера и базы и резка на электроды. Приготовление шлифа. Устранение мелких неисправностей вакуумной установки.

Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемого оборудования электрической и водородной печей, вакуумных установок; устройство измерительной аппаратуры; основные свойства материала сплавов; технические требования на сплавы; основные понятия о механических и электрических свойствах материалов и деталей, идущих на сборку, элементарные понятия о процессах испарения и конденсации.

Примеры работ

1. Сплавы четырех- и пятикомпонентные (свинец-индийвисмут-сурьма-олово; свинец-висмут-сурьма-олово; свинец-индий-висмут-сурьма-галлий) - приготовление.

2. Сплавы шестикомпонентные (свинец-индий-висмут-сурьма-олово-галлий) - приготовление.

3. Сплавы высокотемпературные, содержащие драгоценные металлы (золото-германий-никель; свинец-серебро-олово; золото-цинк) - приготовление, литье пластин.

§ 12. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов

4-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов: плавки в тигле или лодочке с целью приготовления готовых сплавов; бестигельной зонной плавки; плавки во взвешенном состоянии; спекания, термической обработки (отжига), испарения и конденсация металлов, сплавов, металлодиэлектрических смесей, неорганических соединений в вакууме или контролируемой атмосфере. Обслуживание вакуумных электротермических установок. Изготовление, доводка и монтаж нагревателей, испарителей, экранов и другой сменной оснастки на вакуумных электротермических установках. Дозировка и загрузка исходных материалов в условиях строгого соблюдения правил вакуумной гигиены; контроль степени разрешения или состава и давления атмосферы в камере установки. Анализ структуры под микроскопом и микросъема (фотографирование под микроскопом). Заключение о пригодности сплава.

Должен знать: устройство и принцип действия обслуживаемых установок; устройство, назначение и условия применения соответствующего вспомогательного оборудования и измерительных приборов; основы вакуумной техники и электротехники по обслуживанию электротермических установок средней сложности; правила определения состава сплава и его структуры; правила проведения микрофотосъемки.

§ 13. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов

5-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов плавки в тигле или лодочке с целью получения многокомпонентных сплавов. Обслуживание вакуумных электротермических установок любой сложности. Регулирование температуры в рабочей зоне и режима работы всех узлов установки; корректировка состава сплавов и смесей, рафинирование металлов и соединений от примесей; определение качества продукции по внешним признакам. Участие в наладке основного и вспомогательного оборудования. Запись показателей процесса в рабочем журнале.

Должен знать: конструкцию, принципиальные схемы и технические характеристики обслуживаемых установок; способы наладки и настройки на рабочий режим основного и вспомогательного оборудования; правила настройки и регулировки измерительных приборов; условия и режимы получения продукции необходимого качества; требования, предъявляемые к качеству исходных материалов и готовой продукции; основы вакуумной техники, электротермии, электротехники.

Примеры работ

1. Сплавы прецизионного состава - проведение процесса выплавки в высоковакуумной индукционной плавильной печи.

2. Металлы - проведение процесса бестигельной зонной плавки электронной бомбардировкой на специальной установке.

3. Сплавы тугоплавкие - проведение процесса выплавки электронно-лучевой плавильной печи.

4. Сплавы прецизионные - проведение процесса выплавки на установке для плавки металлов во взвешенном состоянии.

§ 14. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов

6-й разряд

Характеристика работ. Составление расчетных условий для проведения плавок по заданным рецептам, регулировка режимов плавки. Общий контроль за работой всех электротермических установок производственного участка.

Должен знать: признаки, характеризующие переходные моменты отдельных стадий и окончание технологического процесса; наиболее рациональные режимы; основы физической химии металлов; поведение различных металлов и соединений при вакуумно-термической обработке, значение примесей; технические условия на продукцию.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 15. Плавильщик циклонной установки

5-й разряд

Характеристика работ. Загрузка золы, угля-восстановителя и других компонентов шихты. Регулирование поступления горючего, воздуха и температуры. Проверка состояния ванны, расплавленной массы, свода, стен копильника, состояние печи, форсунок, желобов, выпускных отверстий, рабочих площадок, исправности инструмента и наличия материалов. Управление загрузочными механизмами, весоизмерителями и транспортными средствами. Отбор проб. Открывание и закрывание выпускных отверстий. Обслуживание установки, вспомогательного оборудования и участие в их ремонте. Ведение процесса плавки шихты в циклонной установке под руководством плавильщика более высокой квалификации.

Должен знать: технические условия и требования, предъявляемые к качеству сырья, материалов, шихты, огнеупорных материалов и продуктов плавки; расположение и емкость расходных бункеров и других загрузочных устройств; предельную нагрузку оборудования; схемы тепловой, воздушной и водяной коммуникаций и газоходов; состав газов; факторы, влияющие на производительность установок; установленное извлечение и содержание металла в отвальных шлаках; виды и основные свойства топлива; условную сигнализацию.

При участии в процессе плавки шихты в циклонной установке совместно с плавильщиком более высокой квалификации - 4-й разряд.

§ 16. Плавильщик циклонной установки

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса плавки шихты в циклонной установке. Наблюдение за помолом угля, подачей топлива и сырья в расходные бункера, за необходимым его запасом, за правильным исполнением технологических инструкций и режимных карт, за поступлением воды, топлива, воздуха в установки, за состоянием оборудования, вентиляции, механизмов, отсасывающих газ. Проверка правильности показаний приборов, температуры в копильнике и температуры отходящего воздуха. Ведение технической документации, учет выпуска продукции. Выявление и устранение неисправностей в работе обслуживаемого оборудования.

Должен знать: конструктивные особенности установок; значение влияния химического состава шихты, восстановителя и температуры на процесс пироселекции германия при плавке шихты в циклонной установке; способы воздействия на ход производственного процесса с целью наиболее полного перевода германия в газовую фазу; свойства применяемого сырья и материалов; состав шихты и продуктов плавки; основы физики, химии и теплотехники.

§ 17. Приготовитель шихты полупроводниковых материалов

2-5 разряды

Характеристика работ. Компоновка полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений по составу, типу проводимости, концентрации носителей зарядов, удельному сопротивлению исходных элементов и полупродуктов. Определение по графикам, таблицам или расчетным путем соотношения компонентов и количества добавляемой лигатуры, различных присадок в зависимости от марки продукции. Дробление исходных элементов, полупродуктов. Взвешивание загрузки компонентов, лигатуры, различных присадок. Сборка, заварка, вакуумирование, отпайка и подготовка к ведению технологических процессов реакционных аппаратов. Подготовка тары для загрузки пластин, легирующих добавок. Подготовка к работе обслуживаемого оборудования и приспособлений. Ведение технической документации. Содержание в чистоте рабочего места.

Должен знать: методы и приемы расчета навесок компонентов многокомпонентных полупроводниковых материалов; основы легирования и влияние легирующих добавок на качество готовой продукции; правила работы на аналитических и других весах; правила расчета состава и средней концентрации носителей заряда полупроводниковых материалов; причины брака, меры предупреждения и устранения его; физико-химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; технологическую схему производства; устройство обслуживаемого оборудования; правила работы с высокочистыми материалами; основы электротехники, физики, химии, вакуумной техники, физики полупроводников, химии чистых веществ, кристаллографии.

При выполнении вспомогательных работ по компоновке и легированию полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений,

обработки технологической оснастки и тары - 2-й разряд.

При компоновке и легировании полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений под руководством аппаратчика более высокой квалификации; при компоновке и легировании элементарных полупроводников - 3-й разряд.

При компоновке полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; при легировании полупроводниковых материалов - 4-й разряд.

При расчете и одновременном легировании двумя и более легирующими добавками, примесями; при легировании материалов интерметаллических соединений; при проведении опытных работ по освоению легирования новыми примесями - 5-й разряд.

§ 18. Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов

2-й разряд

Характеристика работ. Грубое шлифование пластин на станке или вручную абразивными порошками или шлифовальными кругами. Закрепление пластин на шлифовальном столике с помощью наклеечных веществ или на вакуумном столе и снятие их с последующей промывкой. Приготовление абразивной суспензии для шлифования из микропорошков.

Должен знать: принцип действия обслуживаемого оборудования; способ подготовки притирного шлифовального диска; приготовление клеящей мастики и способы ее отмывки; марки применяемых абразивных материалов; технологию отмачивания микропорошков.

Примеры работ

Пластины из ферритов - грубое шлифование на станке или вручную.

§ 19. Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов

3-й разряд

Характеристика работ. Шлифование пластин, изделий на станке или вручную абразивными порошками или шлифовальными кругами до заданных параметров шероховатости и толщины. Замер толщины шлифуемых пластин. Приготовление абразивной суспензии для шлифования из микропорошков. Наблюдение в процессе работы за исправностью оборудования. Настройка станка на заданный размер, выбор режимов обработки. Предупреждение возникновения брака. Установка и замена шлифовального круга. Правка шлифовальных кругов. Доводка плоскости шлифовальника станка.

Должен знать: устройство, принцип работы, правила эксплуатации и способы подналадки станков и приспособлений для шлифования; способы наладки оборудования на заданный размер шлифовки; методы и способы механического и ручного шлифования; способ подготовки притирного шлифовального диска, изготовление клеящих мастик и способы их отмывки; марки применяемых абразивных материалов и их основные свойства; правила пользования измерительным инструментом (микрометры, индикаторные головки и др.); маркировку шлифовальных кругов, способы правки шлифовального круга; методику измерения; требования к чистоте поверхности после шлифования; механические свойства германия, кремния, арсенида галлия и др.

Примеры работ

1. Лампы титанокерамические - притирка на станке абразивными порошками воротничков сетки.

2. Пластины - шлифование с точностью +/- 15 мкм.

§ 20. Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов

4-й разряд

Характеристика работ. Шлифование пластин вручную тонкими абразивными порошками. Шлифование пластин алмазными кругами, тонкими микропорошками на шлифовальных станках. Полирование пластин с точностью +/- 10 мкм на полировальных станках. Приготовление шлифующей и полировальной суспензии из абразивных микропорошков и минеральных масел. Подготовка станков и оснастки для точного шлифования и полирования. Проверка неплоскостности и непараллельности шлифовальника. Контроль и регулирование режимов обработки. Правка алмазного инструмента. Замер торцевого биения шлифовальника. Определение качества обработки. Обнаружение и предупреждение брака.

Должен знать: устройство, принцип работы и правила эксплуатации применяемого оборудования; обозначение допусков на чертежах; основные свойства алмазных микропорошков; свойства полупроводников, определение качества поверхности притирного шлифовального диска; требования, предъявляемые к шероховатости обрабатываемых пластин; требования, предъявляемые к геометрической форме обрабатываемых пластин; методы измерения геометрической формы и шероховатости пластин после шлифования и полирования; виды и причины брака.

Примеры работ

1. Пластины - шлифование абразивными микропорошками М40, М28; полирование микропорошками М5.

2. Пластины кремния - чистое шлифование алмазными шлифовальными кругами с отклонением толщины +/- 5 мкм.

§ 21. Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов

5-й разряд

Характеристика работ. Шлифование (полирование) пластин пастами, алмазными кругами, тонкими микропорошками с точностью +/- 5 мкм. Шлифование (полирование) опытных образцов пластин. Полирование алмазными пастами и микропорошками; химико-механическое полирование пластин окисью кремния, безабразивным составом и окисью циркония на мягком шлифовальнике (замшевом). Подготовка полировального материала, доводка оправки и проверка ее неплоскостности с помощью лекальной линейки; обезжиривание пластин органическими растворителями (бензином). Определение качества обработанной поверхности. Приготовление суспензии из различных порошков, алмазных паст, минеральных масел, органических кислот, бензина. Выбор рациональных режимов обработки. Одновременное обслуживание двух станков.

Должен знать: режим работы оборудования; способы проверки на точность различных моделей оборудования; правильную дозировку химических компонентов для химико-механического полирования; основные физико-механические свойства полупроводниковых материалов; правила пользования высокоточными контрольно-измерительными приборами; способы подбора микропорошков для достижения заданных параметров шероховатости поверхности; правила посадки пластин.

Примеры работ

1. Пластины (германий, кремний, арсенид галлия); пластины галлий-гадолиниевого граната - полирование субмикронными алмазными порошками.

2. Пластины - шлифование связанными алмазами на станке алмазной шлифовки (САШ-420; СПШ-1; МШ-259).

§ 22. Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов

6-й разряд

Характеристика работ. Тонкое шлифование (полирование) пластин и особо точных деталей на станках различных типов. Полирование с применением синтетических полировальных материалов, полирование на оптических смолах. Полирование с применением оптического контакта. Обработка режимов шлифования (полирования). Доводка сепараторов на станках двухстороннего шлифования. Выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования; способы установки, крепления и выверки сложных деталей; методы определения последовательности обработки; оснастку и подготовку оборудования для полирования пластин на оптических смолах; способы подготовки смолы к работе; способы приготовления защитного лака для полирования с применением оптического контакта; природу образования нарушенных слоев в шлифованных и полированных пластинах; виды брака при тонкой обработке и методы их обнаружения и устранения.

Примеры работ

1. Пластины - полирование на смоле окисью хрома (величина зерна не более 1 мкм).

2. Пластины - двухстороннее шлифование, полировка.

Перечень
наименований профессий рабочих, предусмотренных настоящим разделом, с указанием их наименований по действовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)

N п/п	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим выпускам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1	2	3	4	5	6	7
1.	Аппаратчик восс- тановления полу- проводниковых ма- териалов	3-5	Аппаратчик восс- тановления полу- проводниковых ма- териалов	3-5	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство
2.	Аппаратчик по вы- ращиванию моно- кристаллов и лент	3-6	Аппаратчик по вы- ращиванию моно- кристаллов и лент	3-6	20	-"-
3.	Аппаратчик по об- служиванию реку- ператоров и сис- темы охлаждения	4-5	Аппаратчик по об- служиванию реку- ператоров и сис- темы охлаждения	4-5	20	-"-
4.	Аппаратчик по по- лучению высокочи- стых материалов для полупроводни- кового производс- тва	3-5	Аппаратчик по по- лучению высокочи- стых материалов для полупроводни- кового производс- тва	3-5	20	-"-
5.	Аппаратчик по производству и химической очист- ке полупроводни- ковых материалов	3-6	Аппаратчик по производству и химической очист- ке полупроводни- ковых материалов	3-6	20	-"-
6.	Аппаратчик по хи- мической обработ- ке полупроводни- ковых материалов	2-4	Аппаратчик по хи- мической обработ- ке полупроводни- ковых материалов	2-4	20	-"-
7.	Плавильщик-литей- щик прецизионных сплавов	2-6	Плавильщик-литей- щик прецизионных сплавов	2-6	20	-"-
8.	Плавильщик цик- лонной установки	4-6	Плавильщик цик- лонной установки	4-6	20	-"-
9.	Приготовитель ши- хты полупроводни- ковых материалов	2-5	Приготовитель ши- хты полупроводни- ковых материалов	2-5	20	-"-
10.	Шлифовщик-полиро- вщик по прецизи- онной обработке полупроводниковых материалов	2-6	Шлифовщик-полиро- вщик по прецизи- онной обработке полупроводниковых материалов	2-6	20	-"-

Перечень
наименований профессий рабочих, предусмотренных действовавшими разделами ЕТКС (издание 1985-1986 гг.), с указанием измененных наименований профессий, разделов и выпусков, в которые они включены

N п/п	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе ЕТКС	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1	2	3	4	5	6	7
1.	Аппаратчик вос- становления полу- проводниковых ма- териалов	3-5	Аппаратчик вос- становления полу- проводниковых ма- териалов	3-5	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство
2.	Аппаратчик по вы- ращиванию моно- кристаллов и лент	3-6	Аппаратчик по вы- ращиванию моно- кристаллов и лент	3-6	20	-"-
3.	Аппаратчик по об- служиванию реку- ператоров и сис- темы охлаждения	4-5	Аппаратчик по об- служиванию реку- ператоров и сис- темы охлаждения	4-5	20	-"-
4.	Аппаратчик по по- лучению высокочи- стых материалов для полупроводни- кового производс- тва	3-5	Аппаратчик по по- лучению высокочи- стых материалов для полупроводни- кового производс- тва	3-5	20	-"-
5.	Аппаратчик по производству и химической очист- ке полупроводни- ковых материалов	3-6	Аппаратчик по производству и химической очист- ке полупроводни- ковых материалов	3-6	20	-"-
6.	Аппаратчик по хи- мической обработ- ке полупроводни- ковых материалов	2-4	Аппаратчик по хи- мической обработ- ке полупроводни- ковых материалов	2-4	20	-"-
7.	Плавильщик-литей- щик прецизионных сплавов	2-6	Плавильщик-литей- щик прецизионных сплавов	2-6	20	-"-
8.	Плавильщик цик- лонной установки	4-6	Плавильщик цик- лонной установки	4-6	20	-"-
9.	Приготовитель ши- хты полупроводни- ковых материалов	2-5	Приготовитель ши- хты полупроводни- ковых материалов	2-5	20	-"-
10.	Шлифовщик-полиро- вщик по прецизи- онной обработке полупроводниковых материалов	2-6	Шлифовщик-полиро- вщик по прецизи- онной обработке полупроводниковых материалов	2-6	20	-"-

Раздел 2. Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем

§ 1. Заварщик полупроводниковых приборов

2-й разряд

Характеристика работ. Заварка стеклянных деталей на заварочной установке. Заварка металлических деталей со стеклом на налаженном заварочном станке (полуавтомате). Загрузка шпинделей полуавтомата стеклянными баллонами. Регулирование температуры в процессе заварки. Установка контактной пружины в центр кристаллов под микроскопом и заварка арматуры. Настройка иглы с кристаллом по осциллографу. Определение качества спая по внешнему виду.

Должен знать: принцип действия заварочных установок и заварочных станков (полуавтоматов); применяемые способы заварки - спая стекла со стеклом, стекла с металлом (ковар, платинит) и отжига; назначение и условия применения приспособлений для закрепления заготовок при заварке; способы и правила настройки иглы с кристаллом; назначение электронного осциллографа и основные понятия о его работе; основные свойства обрабатываемых материалов.

§ 2. Заварщик полупроводниковых приборов

3-й разряд

Характеристика работ. Заварка металлических деталей со стеклом на заварочном станке (полуавтомате) с подналадкой его в ходе ведения процесса; регулирование пламени газовых горелок установкой соответствующей остроты и температуры пламени, необходимых для заварки баллонов различных диаметров. Создание чистого (без пузырьков и конусов) спая стекла с металлом и ровного (без наплывов) спая стекла со стеклом.

Должен знать: устройство и способы подналадки заварочных станков (полуавтоматов); основные физические и химические свойства обрабатываемых материалов; огневой режим при заварке; устройство применяемых контрольно-измерительных инструментов и приборов.

§ 3. Заварщик полупроводниковых приборов

4-й разряд

Характеристика работ. Заварка металлических деталей со стеклом на заварочных станках различных типов с подналадкой их в ходе ведения процесса. Изготовление сложных металло-стеклянных изоляторов на позиционных станках и специальных приспособлениях. Подбор и соблюдение режимов заварки, регулирование цикла заварки и подачи газа. Наблюдение за показаниями измерительных приборов.

Должен знать: назначение, устройство, принцип правила наладки, пуска и остановки заварочных станков различных типов; свойства газов (азот, водород); различные технологические режимы получения спаев стекла с металлом; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов.

§ 4. Координатографист прецизионной фотолитографии

1-й разряд

Характеристика работ. Изготовление фотооригиналов простых изображений. Вычерчивание простых изображений, буквенных и цифровых надписей. Контроль оригинала. Приготовление рабочих компонентов - лака, туши, гуаши и рабочих инструментов. Увлажнение, лакирование и просушивание ватмана согласно инструкции.

Должен знать: основные понятия об изображении фотооригиналов; правила, и способы буквенных и цифровых надписей; назначение и условия применения наиболее распространенных простых приспособлений и рабочего инструмента; правила и способы приготовления раскрасочных материалов; последовательность обработки ватмана.

Примеры работ

1. Оригиналы шильдиков, схем, описей с насыщенным рисунком и текстом шифра N 12...... 15 - вычерчивание.

2. Оригиналы односторонних печатных плат с шириной проводников 0,8-1 мм - изготовление.

3. Планки простые - вычерчивание надписей.

§ 5. Координатографист прецизионной фотолитографии

2-й разряд

Характеристика работ. Вырезание на координатографах оригиналов средней сложности, состоящих из прямых линий, параллельных осям координат, и наклонных линий под любым углом с количеством точек до 1000 и их контроль. Разметка и вычерчивание рисунка в карандаше на ватмане, наклеенном на стекло. Обводка и заливка рисунка тушью; подготовка эмали и стекла. Нанесение пленки эмали на стекло. Расчет координат и перевод их в заданный масштаб. Установка резца в резцовую оправку. Изготовление оригиналов простых двухсторонних печатных плат методом аппликации и их вырезка на координатографах. Пересчет координат точек элементов топологического чертежа с учетом введения допуска на размеры элементов. Обработка оригинала (снятие ненужных участков пленки и эмали). Изготовление фотооригиналов сложных изображений с надписью, простых шкал и односторонних фотооригиналов на печатные платы со свободным размещением проводников. Вычерчивание маркировочных знаков печатных плат. Разметка и нанесение координатной сетки на печатные платы.

Должен знать: наименование, назначение и условия применения наиболее распространенных универсальных и специальных приспособлений и рабочего инструмента; основные правила технического черчения; правила применения нормалей и ГОСТов при вычерчивании; назначение обслуживаемых приборов для изготовления фотооригиналов; правила пользования ими во время работы; основы технологии приготовления материалов; общее устройство и основные технические данные координатографа, масштабы.

Примеры работ

1. Знаки товарные - вычерчивание.

2. Оригиналы шильдиков, схем, описей с рисунком средней насыщенности и текстом шифра N 8.....12 - вычерчивание.

3. Центры отверстий - разметка на ватмане в соответствии с координатами чертежа печатной платы.

§ 6. Координатографист прецизионной фотолитографии

3-й разряд

Характеристика работ. Изготовление фотооригиналов сложных шкал и схем с плотным расположением проводников. Изготовление оригиналов средней степени сложности двухсторонних и многосторонних печатных плат методом вырезки и аппликации. Вырезка и контроль оригиналов средней сложности, элементы которых состоят из прямых наклонных линий, дуг и окружностей с количеством точек до 1500. Изготовление оригиналов на ватмане, наклеенном на стекле. Вычерчивание маркировочных знаков и буквенных обозначений в особо узких местах. Составление управляющих программ для вырезки оригиналов с количеством точек до 500 на автоматических координатографах.

Должен знать: устройство и способы подналадки координатографа; устройство контрольно-измерительных инструментов и приборов, применяемых в процессе работы; основы технического черчения; правила размещения буквенных и маркировочных знаков с особо плотной насыщенностью; допуски на ширину проводников и расстояний между ними; основные свойства применяемых материалов; общее устройство и технические данные программирующих устройств.

Примеры работ

1. Оригиналы шильдиков, схем, описей со сложным рисунком и текстом шифра N 6.....8 - вычерчивание.

2. Фотооригиналы - изготовление на пленке "Рубелит" и на окрашенных стеклах на координатографе "Кортимат".

§ 7. Координатографист прецизионной фотолитографии

4-й разряд

Характеристика работ. Изготовление, вырезание сложных оригиналов с количеством точек до 2000. Нанесение прямоугольного рисунка по заданному чертежу. Изготовление оригиналов на ватмане, наклеенном на стекле. Изготовление фотооригиналов двухсторонних печатных плат с подрезкой контактных площадок земляными экранами, ламповыми панелями, трансформаторами, реле и т.п. Проверка изготовленного фотооригинала. Составление управляющих программ для вырезки оригиналов с прямыми, наклонными линиями, дугами, окружностями с количеством точек до 1000. Проверка совмещения комплекта оригиналов. Исправление несложных ошибок на оригиналах. Выверка режущего инструмента. Проверка изготовленного фотооригинала.

Должен знать: конструкцию обслуживаемых и применяемых оптических приборов; назначение и условия применения сложных и точных инструментов; технологические требования, предъявляемые при изготовлении оригиналов; монтаж сложных и особо сложных двухсторонних схем; допуски на ширину проводников и расстояние между ними для двухстороннего монтажа; основы теории схемографии.

Примеры работ

1. Комплекты совмещаемых многослойных печатных плат - изготовление оригиналов для многослойного печатного монтажа.

2. Оригиналы пленочных, гибридных и твердых микросхем - изготовление по заданному чертежу с точностью +/- 0,03 мм.

3. Циферблаты для шкал приборов - вычерчивание.

§ 8. Координатографист прецизионной фотолитографии

5-й разряд

Характеристика работ. Изготовление, проверка и измерение оригиналов повышенной сложности печатных плат и микросхем с количеством точек 2500 и более на координатографах с налаживанием их, выверкой и настройкой применяемых приборов. Составление управляющих программ для вырезки оригиналов на автоматических координатографах с количеством точек 1500. Исправление ошибок на оригиналах. Самостоятельный ввод допуска на размеры элементов изготавливаемых оригиналов. Выбор маршрута их изготовления. Самостоятельный выбор оборудования и приспособлений на работу заданной сложности. Ретушь оригиналов.

Должен знать: конструкцию координатографов различных типов и моделей; правила настройки, регулирования и проверки на точность координатографа, контрольно-измерительных приборов, вспомогательных приспособлений и программирующих устройств; правила построения на фотооригинале печатных плат и микросхем любой сложности.

Требуется среднее профессиональное образование.

Информация об изменениях:

Постановлением Минтруда РФ от 12 сентября 2001 г. N 67 раздел 2 раздела "Полупроводниковое производство" настоящего Справочника дополнен тарифной-квалификационной характеристикой "§ 8а. Лудильщик деталей и приборов горячим способом"

§ 8а. Лудильщик деталей и приборов горячим способом

2-й разряд

Характеристика работ. Лужение деталей и узлов простой конфигурации свинцово-оловянистыми припоями с помощью электронагревательных приспособлений. Регулирование температуры нагрева в соответствии с заданным режимом. Подготовка деталей к лужению (обезжиривание перед лужением). Травление, мойка и сушка обрабатываемых деталей и узлов после лужения; уход за ваннами лужения. Приготовление флюсов, замена припоев.

Должен знать: назначение и условия применения приспособлений и инструмента для горячего лужения; основные свойства, способы приготовления и правила применения различных припоев, флюсов; температуру плавления припоев и материала деталей; марки припоев и флюсов; требования, предъявляемые к качеству луженых поверхностей; режимы лужения (температура, кислотность, время и т.д.); основы электротехники; свойства металлов и сплавов.

Примеры работ

1. Баллон - лужение путем касания и поворачивания баллонов на плите.

2. Выводы - лужение.

3. Детали приборов керамические без канавок - лужение.

4. Лепестки и штенгели приборов - лужение.

5. Пары контактные диаметром свыше 1,5 мм - лужение.

6. Траверсы ножек - лужение.

Информация об изменениях:

Постановлением Минтруда РФ от 12 сентября 2001 г. N 67 раздел 2 раздела "Полупроводниковое производство" настоящего Справочника дополнен тарифной-квалификационной характеристикой "§ 8б. Лудильщик деталей и приборов горячим способом"

§ 8б. Лудильщик деталей и приборов горячим способом

3-й разряд

Характеристика работ. Лужение деталей и узлов сложной конфигурации, внутренних поверхностей деталей, а также готовых приборов, печатных плат свинцово-оловянистыми припоями вручную, с помощью электрических приспособлений, на полуавтомате, автомате. Лужение мелких деталей, узлов и микросхем в ультразвуковой ванне с расплавленным сплавом. Лужение проводников, полученных методом сеткографии, штырей, армированных керамических плат и микросхем, насыщенных пассивными элементами. Подбор оптимального режима лужения и регулирование температуры нагрева сплава, поддержание флюса в рабочем состоянии. Корректировка уровня расплавленного припоя в ванне. Проверка качества луженой поверхности с помощью контрольно-измерительных приборов. Алюминирование с помощью электронагревательных припособлений. Мойка и сушка деталей после алюминирования и лужения. Уход за тиглями для алюминирования.

Должен знать: принцип работы полуавтомата и автомата; назначение, устройство и условия применения ультразвуковых ванн, специальных приспособлений, инструмента и приборов для ведения и контроля процесса лужения (ЛАТР, контактные термометры и микроскоп); методы и приемы лужения на различных установках и способы устранения неисправностей обслуживаемого оборудования; основные свойства применяемых материалов, составов и способы приготовления флюса; режимы алюминирования; правила регулирования температуры нагревателя; сроки хранения готовой продукции.

Примеры работы

1. Выводы миниатюрных приборов стержневой конструкции на полуавтомате - лужение.

2. Выводы готовых герконов - лужение.

3. Выводы и детали генераторов СВЧ - лужение.

4. Детали и узлы - лужение припоями редких металлов индия и галлия.

5. Детали керамические сложной конфигурации с канавками - лужение.

6. Диоды, микросхемы, микросборки, триоды - лужение выводов.

8. Индикатор цифровой, тиристоры - лужение выводов.

8. Конденсаторы оксидно-полупроводниковые - лужение корпусов.

9. Кристаллодержатель - лужение.

10. Микросборки, перемычки из бронзы - лужение выводов перемычек.

11. Микросхемы интегральные гибридные типа "Посол" - лужение проводников и контактных площадок.

12. Микроплаты для микромодулей - лужение пазов.

13. Основания - лужение с четко заданными геометрическими размерами припоя.

14. Пары контактные диаметром до 1,5 мм - лужение.

15. Платы, основания - лужение штырей на автоматах и полуавтоматах.

16. Платы радиоаппаратуры - лужение отверстий.

17. Платы печатных сложного рисунка - лужение проводящего рисунка вручную методом окунания на центрифуге.

18. Платы печатного монтажа - лужение контактов в электрованне.

19. Пластины кремния - лужение непланарной стороны.

20. Проволока медная - лужение серебросодержащим припоем на полуавтоматической установке.

21. Проволока для изготовления микромодулей специального назначения - лужение.

22. Пружина контактная - алюминирование горячим способом, методом окунания.

§ 9. Оператор вакуумно-напылительных процессов

2-й разряд

Характеристика работ. Напыление однослойных пленок металлов и стекол на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек и масок без точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки. Загрузка навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций. Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.

Должен знать: назначение, устройство и правила эксплуатации обслуживаемых установок; назначение и принцип работы применяемых контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними; назначение процесса откачки; способы и методы контроля степени вакуума; режимы испарения и осаждения распыляемого материала.

§ 10. Оператор вакуумно-напылительных процессов

3-й разряд

Характеристика работ. Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать: устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования; устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов; назначение процесса откачки; режимы испарения и осаждения распыляемого материала; способы и методы контроля степени вакуума; основные свойства и характеристики испаряемых материалов; основные законы электротехники и вакуумной техники.

Примеры работ

1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов - напыление.

2. Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.

3. Подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя.

4. Резисторы - напыление на ситалловую подложку через маску.

§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов

4-й разряд

Характеристика работ. Напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напиленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать: устройство вакуумных установок различных моделей; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов; конструкцию универсальных и специальных приспособлений; способы отыскания течей; основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем; основы физического процесса получения тонких пленок; основные виды брака и причины его возникновения.

Примеры работ

1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома, многоокиси кремния.

2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы - напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем: молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам.

3. Микроструктуры многослойные пленочные - получение методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок.

4. Пластины с заданным рельефом - получение методом термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта.

5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление нескольких слоев металла (хром, никель, медь).

6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия.

7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал.

8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.

§ 12. Оператор вакуумно-напылительных процессов

5-й разряд

Характеристика работ. Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону.

Должен знать: электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок; конструкцию обслуживаемого оборудования; правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок; правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов; электрофизические свойства взаимодействия полупроводник-металл, металл-металл; основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление.

2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).

3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора.

4. Пластины С ч As - напыление Ag с подслоем Сr.

5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых покрытий.

6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ-транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно или двухслойное напыление различными способами.

7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке.

8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки - напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.

9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%).

10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойных зеркал.

§ 13. Оператор вакуумно-напылительных процессов

6-й разряд

Характеристика работ. Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.). Отработка режимов напыления.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур; методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса; правила определения режимов получения пленочных микроструктур; методы контроля параметров пленок; физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы - изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией.

2. Пластины кремния различных типов - оглавление с одновременным нанесением алюминия.

3. Пластины со структурами - многослойное напыление на установках различных типов.

4. Покрытия оптические - просветление трехслойное двухстороннее.

5. Фильтры интерференционные - нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/2.

§ 14. Оператор вакуумно-напылительных процессов

7-й разряд

Характеристика работ. Напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов. Составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой. Отработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров. Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качества высокого вакуума.

Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума; наладку и настройку контрольно-измерительных приборов; способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки; влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 15. Оператор диффузионных процессов

2-й разряд

Характеристика работ. Ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации). Окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды. Загрузка и выгрузка пластин кремния. Измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар. Изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии. Вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний. Взвешивание диффузанта и его загрузка.

Должен знать: наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления; назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров; методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей; основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения); основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов); принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.

Примеры работ

1. Пластины кремния, германия - термообработка перед фотолитографией.

2. Пленки окисные - получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.

3. Подложки - насыщение бором.

§ 16. Оператор диффузионных процессов

3-й разряд

Характеристика работ. Ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа. Измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин. Изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей. Контроль режима диффузионного процесса. Загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика. Контроль качества пластин после диффузии и окисления. Комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур.

Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок; методы измерения температуры в рабочей зоне установки; степени осушки газа; свойства газов, применяемых материалов; основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ, влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев; устройство приборов для контроля процесса; методы измерения поверхностного сопротивления; методы контроля толщины дрейфовой области.

Примеры работ

1. Диффузия золота.

2. Стекло боросиликатное - диффузия бора.

3. Стекла растворимые - диффузия сурьмы.

4. Структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки SI02 с одновременной диффузией никеля.

§ 17. Оператор диффузионных процессов

4-й разряд

Характеристика работ. Окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Отжиг ионно-легированных слоев. Ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния. Одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии. Дозирование легирующих элементов. Подготовка газораспределительного пульта к работе. Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах). Наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их. Определение неисправностей в работе оборудования. Измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем.

Должен знать: устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.); методы измерения температурного профиля диффузионной печи; основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний); свойства газов (водород, азот, кислород); основные свойства диффузантов; режимы процесса; способы и методы контроля; элементарный расчет параметров диффузионных слоев; основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов; методы их получения и контроля.

Примеры работ

1. Диффузия мышьяка, сурьмы.

2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок.

3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.

4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса).

5. Кремний - окисление в парах HCL.

6. Пластины кремния - термическое окисление в печах типа СДО 125/3-12.

§ 18. Оператор диффузионных процессов

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Составление программ проведения процесса. Введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия. Обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок. Измерение электро-параметров БИС, СБИС и транзисторных структур. Проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев. Анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок. Контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев. Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры. Сборка газовой системы и проверка ее герметичности. Определение неисправностей в работе оборудования и их устранение.

Должен знать: электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим; правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса; очистительную систему для газов, поступающих в установку, правила определения режимов работы; влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения.

2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-15.

3. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением.

4. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров.

§ 19. Оператор диффузионных процессов

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Обслуживание печей и установок любого типа, в т.ч. и с программным управлением. Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным. Проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев. Самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС. Расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси. Работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различных типов для проведения процесса диффузии; теорию процессов диффузии и окисления; влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев; способы и методы определения годности переходов; физико-химические свойства применяемых материалов; расчеты, связанные с проведением процессов диффузии.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 20. Оператор диффузионных процессов

7-й разряд

Характеристика работ. Ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии из опытном оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований к нему. Получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.

Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-ЗМ); назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним; факторы, определяющие скорость роста окислов; механизмы диффузии в полупроводниках; виды брака из термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения; способы получения р-п переходов и методы определения их годности.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.

2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.

§ 21. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев

3-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев с определенными параметрами на установках эпитаксиального наращивания. Подготовка оборудования к работе, проверка оборудования на герметичность, загрузка и разгрузка подложек. Контроль и корректировка режима процесса наращивания. Проверка качества применяемых подложек, материалов. Ведение процесса газового травления. Замер температуры оптическим пирометром. Заправка испарителей SiCL4. Снятие и установка кварцевой оснастки на оборудовании различных типов. Проведение профилактики газовой системы. Замена баллонов.

Должен знать: устройство важнейших частей, принцип действия установок эпитаксиального наращивания и контрольно-измерительных приборов; свойства химикатов, применяемых для наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; реакции, происходящие на поверхности подложки в процессе наращивания; влияние примесей на качество эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; способы градуирования ротаметров; методы измерения и регулирования температуры процесса наращивания испарителей, охлаждения реактора; правила работы с баллонами, магистральными газами и газовыми смесями.

Примеры работ

Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические, металлические слои - наращивание однослойных структур.

§ 22. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев

4-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев всех типов. Корректировка процесса наращивания по результатам контрольного процесса. Расчет скорости наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев. Расчет концентрации легирующей примеси. Карбидизация графитовых нагревателей (пьедесталов). Приготовление растворов SICL4 с определенной концентрацией легирующей примеси. Определение неисправностей в установках.

Должен знать: устройство и способы подналадки оборудования различных типов; методы наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев и их свойства; свойства полупроводниковых материалов; свойства газов; методы измерения основных электрофизических и структурных параметров эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических структур; устройство, назначение и условия применения приборов для контроля процесса, системы газораспределения и водяного охлаждения; влияние концентрации легирующей примеси на параметры эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; основы электротехники в пределах выполняемой работы.

Примеры работ

Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические и металлические слои - наращивание структур со скрытыми слоями.

§ 23. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение процессов наращивания многослойных эпитаксиальных структур, диэлектрических слоев. Наращивание сверхтонких поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев. Устранение разброса параметров слоев различными методами. Замена стаканов и настройка индукторов по температурному режиму на установках, использующих ВЧ-нагрев. Настройка температурного режима процесса на установках, использующих инфракрасные и другие виды нагрева. Задание режимов на электронной системе управления технологическим процессом.

Должен знать: электрическую и газовую схему обслуживаемого оборудования, способы ее проверки, основные неисправности и методы их устранения; режимы и правила проведения процессов для получения сложных и многослойных эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев; правила настройки и регулировки приборов для контроля процесса, основы теории процесса эпитаксиального наращивания; правила работы с электродной системой управления технологическим процессом.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Структуры многослойные эпитаксиальные - наращивание с заданными параметрами.

2. Структура многослойная диэлектрик-полупроводник - наращивание.

3. Слои тонкие эпитаксиальные - наращивание.

§ 24. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев

6-й разряд

Характеристика работ. Самостоятельное ведение процессов получения эпитаксиальных, диэлектрических, поликристаллических и металлических слоев любого назначения на оборудовании различных типов. Проведение процессов, стимулированных плазмой, и процессов с использованием газообразных, жидкостных и твердых источников. Проведение экспериментальных и опытных работ по наращиванию слоев. Самостоятельная корректировка режимов в процессе работы. Расчет концентрации легирующей примеси, расчет скорости потоков паров и газов, температурных режимов. Задание и корректировка режимов на электронной системе управления технологическим процессом.

Должен знать: конструкцию, способы и правила наладки различных типов оборудования; правила работы с электронной системой управления технологическим процессом; методы прецизионной обработки полупроводниковых материалов; методы расчета концентрации легирующей примеси; особенности процессов диффузии и наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; конструкцию полупроводниковых приборов и твердых схем на основе эпитаксиальных структур; основы теории полупроводников; физические и химические основы технологических процессов наращивания.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Многослойные эпитаксиальные структуры - наращивание с различными заданными параметрами.

2. Локальная эпитаксия - наращивание.

§ 25. Оператор плазмохимических процессов

4-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса травления полупроводниковых материалов, снятия фоторезиста, высаживания двуокиси кремния на различных типах плазмохимического оборудования. Ионно-плазменное нанесение пленок Fe2O3. Загрузка и выгрузка пластин кремния, стеклопластин, жидкокристаллических индикаторов. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов плазмохимической обработки по контрольным измерениям. Регистрация и поддержание режимов плазмохимической обработки с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Контроль толщины нанесенной пленки, замер линейных размеров элементов микросхем с помощью микроскопа. Определение качества обработки пластин с помощью микроскопа и измерительных приборов.

Должен знать: устройство плазмохимических установок различных моделей, принцип их действия; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила настройки на точность обслуживаемого оборудования, устройство, назначение и применение контрольно-измерительных приборов и инструментов; назначение процесса откачки и роль плазмообразующих сред в процессе обработки пластин; способы и методы контроля степени вакуума; основные свойства и характеристики плазмообразующих сред; основы процесса плазмохимического травления; оценку стойкости фоторезистивных масок к воздействию газоразрядной плазмы; основные законы электротехники и вакуумной техники.

Примеры работ

1. Кремниевые пластины - плазмохимическое высаживание SiO2 путем разложения и взаимодействия моносилана с кислородом в плазме высокочастотного разряда, определение толщины пленки SiO2 после нанесения по таблицам цветности.

2. Мезо-структуры с фоторезистом - ионно-плазменное напыление диэлектрических пленок.

3. Пластины - удаление фоторезиста на плазмохимических установках.

4. Пластины кремния - плазмохимическое травление двуокиси кремния, лежащего на алюминии.

5. Стеклопластины - ионно-плазменное нанесение Fе2О3.

Индикаторы жидкокристаллические - удаление полиамида на плазмохимических установках.

§ 26. Оператор плазмохимических процессов

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса плазмохимической очистки пластин и материалов, нанесение двуокисных пленок на различных типах плазмохимического оборудования. Нанесение антиэмиссионных и эмиссионных покрытий ионно-плазменным или плазмо-дуговым методом. Напыление молибдена, алюминия ионно-плазменным методом. Подготовка и настройка оборудования на заданный режим работы. Согласование нагрузок генератора высокой частоты. Выявление причин неисправностей в вакуумных системах. Выявление причин отклонения скорости плазмохимической обработки от заданной и их устранение. Корректировка режимов проведения процесса по результатам контрольных измерений. Контроль толщины микрослоев после обработки на микроинтерферометрах различных типов.

Должен знать: системы подачи и натекания газов; основные процессы, происходящие при диссоциации в плазме молекул химически активных рабочих газов; основы плазмохимического осаждения; свойства пленок, подвергающихся плазмохимической обработке; физические и химические основы технологических процессов в плазме; методы определения глубины травления; методы определения толщины окислов; устройство и настройку интерферометров.

Примеры работ

1. Пластины кремниевые - ионно-плазменное напыление молибдена, алюминия с добавками меди и кремния; травление, высаживание пленки SiO2 плазмохимическим методом, замер величины заряда, пробивного напряжения на ПНХТ, контроль толщины пленки на интерферометре, контроль качества поверхности на микроскопе.

2. Пластины ситалловые - плазмохимическое осаждение пленки нитрида бора.

3. Пленки нитрида бора - плазмохимическое травление.

4. Фотошаблоны и пластины кремния - ионно-плазменное и плазмохимическое травление.

§ 27. Оператор плазмохимических процессов

6-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов плазмохимической очистки, травления полупроводниковых материалов, металлов, металлических систем с использованием реагентов различных видов с заданной избирательностью травления. Определение скорости плазмохимического травления материалов. Самостоятельный подбор режимов очистки, травления, различных видов пленок в процессе фотолитографии в различных плазмообразующих средах. Отработка режимов плазмохимической обработки пластин с заданной точностью и соотношением скоростей травления. Оценка влияния плазменных обработок на параметры полупроводниковых приборов.

Должен знать: конструкцию вакуумных и газовых систем; устройство и принцип работы ионных источников, плазмотронов и реакционноразрядных камер, методы их настройки и регулировки; теорию плазмохимических процессов осаждения пленок, по обработке и травлению поверхности полупроводниковых пластин и материалов; влияние качества обработки поверхности на характеристики полупроводниковых приборов; правила определения режима работы плазмохимического оборудования различных типов для получения заданных параметров пленок; основы теории плазмохимической обработки.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

Кремниевые пластины - плазмохимическое травление Si3N4, Al2O3, ванадия.

§ 28. Оператор плазмохимических процессов

7-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов плазмохимической очистки и травления полупроводниковых материалов на экспериментальном и опытном оборудовании. Проведение многостадийных процессов травления. Плазмохимическое травление многослойных структур. Анизатропное травление поликремния. Сборка и разборка внутрикамерного устройства и его чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер к их устранению.

Должен знать: конструкцию экспериментального и опытного оборудования для проведения плазмохимических процессов; правила ведения плазмохимического травления многослойных структур и ведения многостадийных процессов; методы отыскания течей в вакуумных системах и способы их устранения и предупреждения.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Кремниевые пластины - плазмохимическое травление AL/SL; ASI/TIW.

2. Кремниевые пластины - плазмохимическое травления ФСС, БФСС, SiO2 селективно к SI, ПКК при формировании контактов.

§ 29. Оператор микросварки

4-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса разварки внутренних межсоединений на установках с ручным совмещением инструмента под микроскопом. Установка и закрепление на рабочем столике арматуры, полупроводниковых приборов, кассет с загруженными приборами для разварки. Термокомпрессирование выводов к триодам, диодам, твердым схемам с контактными площадками на установках термокомпрессии. Разводка и сварка под микроскопом выводов триодов и диодных блоков сложных микросхем. Промывка, зачистка, прочистка сварочного инструмента. Заправка проволоки в сварочный инструмент. Замер диаметра "шарика", высоты петли с помощью оптических приборов.

Должен знать: устройство, принцип действия и правила работы на установках микросварки и термокомпрессии; основные сведения по сварке, виды и назначение свариваемых соединений; технические требования, предъявляемые к узлам и деталям, подлежащим сварке; основы электро- и радиотехники.

Примеры работ

1. ГИМ СВЧ - сварка соединений между контактными площадками на платах, сварка экранов.

2. Индикаторы цифро-знаковые (твердые схемы) - сборка методом термокомпрессии с большим числом выводов на установках типа ЭМ-439; "Контакт-ЗА".

3. Микросборки тонкопленочные - сварка соединений между выводами навесных элементов и контактными площадками плат, сварка соединений между платой и корпусом.

4. Приборы полупроводниковые - сварка соединений между контактными площадками кристалла и траверсами рамки выводной на автоматах монтажа проволочных выводов.

§ 30. Оператор микросварки

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса разварки внутренних межсоединений на установках микросварки с ручным совмещением инструмента под микроскопом, а также из полуавтоматических, автоматических установках с программным управлением. Разводка и сварка в труднодоступных местах выводов триодов и диодных блоков в сложных и опытных микросхемах. Прочистка сварочного инструмента. Корректировка технологических режимов и программ. Проверка качества сварного соединения. Оценка качества разварки.

Должен знать: устройство и правила работы на установках микросварки; методы получения контактов и их особенности; правила подборки режимов сварки для различных изделий; виды возникающего из операции брака и способы его предупреждения; требования, предъявляемые к применяемым материалам.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. ГИМ СВЧ - приварка золотой проволоки к контактным площадкам плат на установке ЭМ-429М.

2. Приборы полупроводниковые, микросхемы, диодные матрицы - приварка выводов к контактным площадкам кристалла и корпуса.

3. Транзисторы, транзисторные матрицы - присоединение внутренних выводов.

§ 31. Оператор микросварки

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса микросварки на установках с программным управлением. Обслуживание 2-х или более установок микросварки. Разварка внутренних межсоединений микросхем высокой степени интеграции на установках микросварки с ручным совмещением инструмента под микроскопом. Юстировка электронно-оптической системы. Отработка режимов сварки новых типов изделий. Программирование координат топологии развариваемой схемы на установках с программным управлением.

Должен знать: принцип работы установки микросварки; способы проверки работы установки на типовых промышленных приборах; юстировку электронной схемы; особенности работы установок с программным управлением; назначение и правила пользования контрольно-измерительными приборами; физико-химические свойства применяемых материалов.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

БИС, СБИС - разварка межсоединений.

§ 32. Оператор термосоединений

3-й разряд

Характеристика работ. Ведение процесса пайки различных деталей и узлов полупроводниковых приборов в атмосфере водорода, азота, а также в окислительной среде. Обслуживание водородных печей (колпаковых, конвейерных, толкательных и др.). Контроль режима пайки и других термических режимов (обжига, отжига и т.д.). Регулирование температуры, газовых режимов и скорости конвейерной ленты в печах. Отжиг деталей в водородных печах.

Должен знать: правила работы на обслуживаемом оборудовании, способы подналадки; основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ, процесс контроля степени осушки газов; требования, предъявляемые к качеству выпускаемой продукции.

Примеры работ

1. Арматура - пайка в водородной печи.

2. Диоды - герметизация в печи.

3. Изоляторы - пайка в медный фланец высокотемпературным припоем.

4. Изоляторы - пайка медных выводов в коваровую трубку.

5. Кристаллы, кристаллодержатель - припаивание к ножке.

6. Основания для микросхем - склеивание в печах в водородной и азотной среде.

7. Переходы - напайка на держатель.

8. Приборы полупроводниковые - вплавление электродов коллектора и эммитера; приплавление выводов коллектора и эммитера; приплавление кристаллов; вжигание никеля; пайка деталей и узлов полупроводниковых приборов с применением мягких и твердых припоев в атмосфере водорода на конвейерных и в колпаковых печах.

9. Штыри, выводы, основания, детали - отжиг.

§ 33. Оператор термосоединений

4-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов пайки. Самостоятельное обслуживание водородных печей (колпаковых, конвейерных и т.д.). Замер кривой распределения температуры по зонам. Корректировка режимов пайки. Проверка качества пайки и вакуумноплотного спая.

Должен знать: устройство оборудования различных моделей, правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов; назначение процессов пайки; требования, предъявляемые к газам; основы вакуумной техники и электротехники.

Примеры работ

1. Баллоны - спекание в водородной печи.

2. Бусы - вплавление.

3. Диск коллекторный - пайка с помощью флюса, паяльной пасты.

4. Изоляторы полупроводниковых приборов - спекание в водородных печах.

5. Корпуса приборов, полученные методом шликерного литья - спекание.

6. Приборы полупроводниковые - пайка арматуры; вплавление электродов в пластину.

7. Приборы полупроводниковые - получение вакуумноплотного соединения стекла с металлом в конвейерных или силитовых печах в атмосфере азота и в окислительной среде.

8. Термокомпенсаторы - спекание.

9. Цоколи, основания, упоры, толкатели - спай стекла с металлом.

§ 34. Оператор элионных процессов

4-й разряд

Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирования, микрофрезерования, микросварки, резки, создания р-п переходов) на установках специализированного типа. Подготовка установок к процессу обработки, включение форвакуумных насосов; вывод высоковакуумных агрегатов в рабочий режим, включение вспомогательного электрического оборудования, загрузка контейнера с обрабатываемым материалом (пластинами) в приемное устройство; подготовка и включение ионного (электронного) источника. Контроль за работой оборудования с помощью контрольно-измерительных приборов и поддержание заданных режимов обработки. Ведение рабочего журнала. Подналадка отдельных простых и средней сложности узлов и механизмов установок под руководством оператора более высокой квалификации. Содержание установок в технически исправном состоянии.

Должен знать: устройство, принцип действия и правила обслуживания установок специализированного типа; основные законы электротехники и основы вакуумной техники в пределах выполняемой работы, особенности работы с высоковольтным оборудованием; методы и способы контроля элионного процесса обработки и системы вакуума в установке; инструкцию по эксплуатации установки, характерные неисправности и методы их устранения.

§ 35. Оператор элионных процессов

5-й разряд

Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирование, микрофрезерование, микросварка, резка, создание р-п переходов и т.д.) на установках универсального типа и на установках с программным управлением. Настройка установок на заданный технологический режим. Выявление, определение величины и устранение вакуумных течей. Ремонт и наладка различной сложности узлов и механизмов установок.

Должен знать: кинематическую и электрическую схемы установок универсального типа; назначение и устройство контрольно-измерительных приборов; правила и методы наладки установок на заданный режим; правила настройки приборов для контроля процесса обработки; основные методы подготовки и ввода информации в вычислительную машину для управления технологическим процессом; способы устранения неисправностей в процессе работы установок; основы электротехники и вакуумной техники.

§ 36. Оператор элионных процессов

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирование, микрофрезерование, микросварка, резка, создание р-п переходов и др.) на экспериментальных и опытных установках. Выбор технологических режимов и настройка отклоняющей (управляющей) системы на различные рабочие режимы обработки; определение причин отклонения от заданных режимов обработки и их устранение. Ремонт и наладка сложных узлов и механизмов всех типов. Руководство работой операторов более низких разрядов.

Должен знать: конструкцию, правила проверки и настройки установок всех типов и особенности их эксплуатации; физические основы элионных процессов обработки; правила выбора оптимальных режимов работы установок.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 37. Скрайбировщик пластин

3-й разряд

Характеристика работ. Скрайбирование пластин на кристаллы заданной геометрии на установках различных типов. Скрайбирование ситалловых пластин. Задание исходных параметров обрабатываемых пластин на наладочном пульте. Задание на пульте управления шага реза. Обломка пластин по габаритному размеру. Деление пластины на кристаллы после скрайбирования с помощью приспособлений. Точное деление пластин на кристаллы (вручную). Определение качества деления на глаз и под микроскопом. Разбраковка полученных кристаллов и контроль габаритов с помощью микрометра.

Должен знать: назначение, устройство и систему управления установки скрайбирования; правила пользования микроскопом; механические свойства полупроводниковых материалов; основные законы электротехники; основы оптики; технологические требования, предъявляемые к качеству и размерам кристаллов; правила пользования микрометром.

Примеры работ

1. Кристаллы - отбраковка замаркированных кристаллов с помощью магнитного сепаратора.

2. Пластины кремния и керамические - скрайбирование.

3. Пластины - ломка на кристаллы.

4. Подложки ситалловые - скрайбирование.

§ 38. Скрайбировщик пластин

4-й разряд

Характеристика работ. Скрайбирование пластин на кристаллы заданной геометрии с размерами разделяющей дорожки не более 100 мкм. Настройка установки и режущего инструмента (алмазного резца) на скрайбирование пластин заданных размеров. Контроль состояния резца под микроскопом. Самостоятельный выбор режимов резания. Замена режущего инструмента.

Должен знать: принцип работы полуавтоматов и автоматов для скрайбирования; методы настройки и наладки скрайберной установки; методы контроля величины усилия резца с помощью измерительного инструмента; требования, предъявляемые к качеству режущей кромки алмазного резца; методы контроля качества скрайбирования.

Примеры работ

Пластины - скрайбирование на установках типа "Алмаз".

§ 39. Фотограф прецизионной фотолитографии

3-й разряд

Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя.

Должен знать: устройство, способы подналадки и принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии, оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.

Примеры работ

1. Диэлектрик-металл-полупроводник и малые интегральные схемы - изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала; изготовление металлизированного эталонного фотошаблона.

2. Фотошаблоны пленочные - изготовление с белков.

3. Фотошаблоны односторонних печатных плат - изготовление.

4. Фотопластины - проявление на основе эмульсии сухого коллодиона.

5. Штриховые негативы - контактная печать на фотобумаге.

§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии

4-й разряд

Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.

Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.

Примеры работ

1. Двухсторонние оригиналы - настройка фотоаппарата на размер, фотографирование.

2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):

- проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);

- изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;

- подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;

- изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;

- исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.

3. Пленочный мультиплицированный фотошаблон - изготовление.

§ 41. Фотограф прецизионной фотолитографии

5-й разряд

Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовление пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат. Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведения технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбор оптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку металлизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.

Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристики метода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображения на фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения; погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методы его устранения; технические требования и документацию на изготавливаемые изделия.

Примеры работ

1. Аппаратура, узлы, детали контактных приборов с полутоновым изображением - контактное печатание фотоснимков, фотографирование для технической документации.

2. Групповые фотошаблоны плат, подлежащие обработке на штампах - изготовление.

3. Металлизированные эталонные фотошаблоны изделия БИС, СБИС - изготовление.

4. Полутоновые негативы на фотопластинках и фотопленках - обработка.

5. Сложные, эмульсионные, металлизированные, пленочные промежуточные оригиналы и фотошаблоны - изготовление и контроль качества их согласно требованиям конструкторской документации.

6. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов и позитивов по II классу точности.

§ 42. Фотограф прецизионной фотолитографии

6-й разряд

Характеристика работ. Изготовление сложных фотошаблонов, эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельный подбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительных приборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекция режима фотохимического и фотолитографического процесса для получения мелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений с соблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности.

Должен знать: устройство, принцип работы, способы и правила проверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений, фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство и правила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры и приборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимы фотолитографической и фотохимической обработки.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Металлизированные промежуточные оригиналы различной сложности изделий - проведение экспресс-контроля, подготовка к мультипликации.

2. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов по 1 классу точности.

3. Твердые схемы - изготовление комплекта совмещаемых фотошаблонов с размножением свыше 100 модулей по рабочему полю.

4. Фотошаблоны пленочные - полный цикл изготовления с использованием различных фотоматериалов; изготовление технических фотографий на разных типах фотобумаги.

§ 43. Эмульсировщик прецизионной фотолитографии

2-й разряд

Характеристика работ. Приготовление различных растворов. Отмывка стекол от загрязнений. Фильтрование растворов через фильтры различного вида. Приготовление раствора желатина. Нанесение эмульсии на отдельные небольшие участки стекла, к которому не предъявлены высокие требования. Установление режимов работы ванн отмывки.

Должен знать: назначение и правила эксплуатации сушильных шкафов центрифуг, правила обращения с эмульсиями; требования, предъявляемые к подложкам; правила работы с кислотами и щелочами.

§ 44. Эмульсировщик прецизионной фотолитографии

3-й разряд

Характеристика работ. Приготовление различных растворов. Нанесение подслоя и эмульсии на полированные поверхности стекла. Приготовление эмульсий с высокой разрешающей способностью (до 700 лин/мм), пригодных для изготовления фотошаблонов. Охлаждение и сушка эмульсии.

Должен знать: конструкции и правила эксплуатации специальных холодильников, сушильных шкафов, центрифуг и специальных поливных устройств; технологический и температурный режимы обработки эмульсий; основные требования, предъявляемые к эмульсии и подслою; правила работы с концентрированными кислотами и щелочами.

§ 45. Эмульсировщик прецизионной фотолитографии

4-й разряд

Характеристика работ. Нанесение эмульсии определенной толщины на полированную поверхность стекла. Подготовка и сушка коллоксилина. Приготовление фотопластин на основе сухого коллодиона с разрешающей способностью 800-1000 лин/мм. Выполнение работ, связанных с замерами на РН-метре. Проверка качества растворов, дистиллированной и деионизированной воды.

Должен знать: конструкции и правила эксплуатации всех установок, необходимых для приготовления растворов и полива пластин; свойства растворов, качество фотопластин; требования, предъявляемые к эмульсии.

N п/п	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1	2	3	4	5	6	7
1.	Заварщик полупро- водниковых прибо- ров	2-4	Заварщик полупро- водниковых прибо- ров	2-4	20	Полупро- воднико- вое про- изводство
2.	Координатографист прецизионной фо- толитографии	1-5	Координатографист прецизионной фо- толитографии	1-5	20	-"-
3.	Оператор вакуум- но-напылительных процессов	2-7	Оператор вакуум- но-напылительных процессов	2-6	20	-"-
4.	Оператор диффузи- онных процессов	2-7	Оператор диффузи- онных процессов	2-6	20	-"-
5.	Оператор по нара- щиванию эпитак- сиальных слоев	3-6	Оператор по нара- щиванию эпитак- сиальных слоев	3-6	20	-"-
6.	Оператор плазмо- химических про- цессов	4-7	Оператор плазмо- химических про- цессов	4-6	20	-"-
7.	Оператор микрос- варки	4-6	Оператор микрос- варки	4-6	20	-"-
8.	Оператор термо- соединений	3-4	Оператор термо- соединений	3-4	20	-"-
9.	Оператор элионных процессов	4-6	Оператор элионных процессов	4-6	20	-"-
10.	Скрайбировщик пластин	3-4	Скрайбировщик пластин	3-4	20	-"-
11.	Фотограф прецизи- онной фотолитог- рафии	3-6	Фотограф прецизи- онной фотолитог- рафии	3-6	20	-"-
12.	Эмульсировщик прецизионной фо- толитографии	2-4	Эмульсировщик прецизионной фо- толитографии	2-4	20	-"-

N п/п	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий, помещен- ных в действующий ЕТКС	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1	2	3	4	5	6	7
1.	Заварщик полупро- водниковых прибо- ров	2-4	Заварщик полупро- водниковых прибо- ров	2-4	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство
2.	Заточник контакт- ной пружины	2-3	Слесарь по конт- рольно-измерите- льным приборам и автоматике	2-6	02	Машиност- роение
3.	Координатографист прецизионной фо- толитографии	1-5	Координатографист прецизионной фо- толитографии	1-5	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство
4.	Лудильщик дета- лей и приборов горячим способом	2-3	Лудильщик горячим способом	2-6	02	Машиност- роение
5.	Настройщик полу- проводниковых приборов	3-5	Настройщик при- боров электронной техники	2-6	20	Общие профессии электрон- ной тех- ники
6.	Оператор вакуум- но-напылительных процессов	2-6	Оператор вакуум- но-напылительных процессов	2-7	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство
7.	Оператор диффузи- онных процессов	2-6	Оператор диффузи- онных процессов	2-7	20	-"-
8.	Оператор по нара- щиванию эпитакси- альных слоев	3-6	Оператор по нара- щиванию эпитакси- альных слоев	3-6	20	-"-
9.	Оператор плазмо- химических про- цессов	4-6	Оператор плазмо- химических про- цессов	4-7	20	-"-
10.	Оператор микро- сварки	4-6	Оператор микро- сварки	4-6	20	-"-
11.	Оператор термосо- единений	3-4	Оператор термосо- единений	3-4	20	-"-
12.	Оператор элион- ных процессов	4-6	Оператор элион- ных процессов	4-6	20	-"-
13.	Сборщик индикато- ров	2-5	Сборщик изделий электронной тех- ники	1-6	20	Общие профессии электрон- ной тех- ники
14.	Сборщик микросхем	2-5	-"-	1-6	20	-"-
15.	Сборщик полупро- водниковых прибо- ров	2-4	-"-	1-6	20	-"-
16.	Скрайбировщик пластин	3-4	Скрайбировщик пластин	3-4	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство
17.	Фотограф прецизи- онной фотолито- графии	3-6	Фотограф прецизи- онной фотолито- графии	3-6	20	-"-
18.	Эмульсировщик прецизионной фо- толитографии	2-4	Эмульсировщик прецизионной фо- толитографии	2-4	20	-"-

3. Производство микромодулей

§ 1. Монтажник микромодулей

2-й разряд

Характеристика работ. Сборка микромодулей и микроэлементов в гребенку для пайки, натягивание выводов. Пайка этажерок микромодулей с помощью паяльника. Обрезка выводов. Проверка внешнего вида этажерок микромодулей под микроскопом и габаритов с помощью штангенциркуля и скобы. Подготовка и нагревание насадок. Замена резиновых прокладок.

Должен знать: правила работы с электрическим паяльником, приспособлениями и измерительным инструментом; способы флюсования и пайки микромодулей; правила обращения с микроэлементами и незалитыми микромодулями; способы обработки насадок смазкой; температуру и время сушки; виды и причины возможного брака.

§ 2. Монтажник микромодулей

3-й разряд

Характеристика работ. Сборка в гребенку микроэлементов и пайка микромодулей с помощью электропаяльника и приспособлений. Настройка универсальной гребенки в соответствии с чертежами и картой раскладки с проверкой правильности настройки посредством часового проектора и другого инструмента. Подготовка микроэлементов к пайке на автоматах и полуавтоматах. Выбор температурного режима. Обслуживание установки для пайки микромодулей в газовой среде (аргоне). Установка микромодулей в специальном приспособлении с правкой выводных концов. Установка собранных узлов в приспособление с пайкой выводных концов по чертежу. Установка колодки на собранный узел и разведение выводных концов по схеме. Изготовление простых приспособлений и шаблонов. Рихтование и правка выводов микромодулей и устранение дефектов, обнаруженных при сборке пресс-форм. Настройка оборудования на заданный режим. Подрезка ключевых выводов, просечка проводников у спаянных микромодулей. Подготовка и оцифровка липкой лентой, укладка в тару и герметизация в полиэтиленовую упаковку. Подготовка и надевание насадок на микромодули специального назначения. Оформление сопроводительной документации.

Должен знать: устройство и принцип работы микромодулей; способы и правила установки деталей и узлов в приспособление или пресс-форму; назначение, типы и условия применения микромодулей; технологический процесс герметизации микромодулей; основы радио- и электротехники; устройство, правила обслуживания, регулирование и налаживание установки для пайки в газовой среде; порядок настройки гребенки полуавтомата; подбор режимов на установках для разделки пазов; правила ориентации микроэлемента относительно ключа; методы настройки гребенки в соответствии с чертежом и картой раскладки; допуски на размер монтируемых микромодулей и длину выводов; методы подрезки и разрезки выводов; порядок определения места для просечки; методы маркировки микромодулей липкой лентой; виды, размеры, назначение применяемых прокладок и насадок; причины возникновения брака и меры по его предупреждению; устройство и принцип работы применяемых контрольно-измерительных инструментов и приборов.

Примеры работ

1. Микромодули - сборка в гребенку и пайка электропаяльником.

2. Микроэлементы - разделка пазов при подготовке их к пайке на автоматах.

3. Микромодули - разрезка (просечка) соединительных проводников с помощью приспособлений для просечки.

4. Микромодули - надевание насадок на выводы.

§ 3. Монтажник микромодулей

4-й разряд

Характеристика работ. Подготовка и настройка по заданной схеме автомата СПИ к работе. Сборка и пайка микромодулей и микромодулей специального назначения на электрических приспособлениях и на автоматах СПМ. Сборка микроэлементов в магазины. Выбор температурного режима и времени выдержки. Определение качества пайки, обрезка выводов и подрезка ключевых выводов на приспособлениях.

Должен знать: правила обращения с микроэлементами и незалитыми микромодулями; требования, предъявляемые к производству микромодулей специального назначения; устройство, наладку, регулирование и обслуживание автомата СПМ; правила подбора оптимальной температуры для пайки и времени выдержки; устройство и регулирование установки для разделки пазов; порядок сборки микроэлементов в барабан; порядок обслуживания автоматов, работающих в газовой среде.

Примеры работ

Микромодули специального назначения - пайка различных схем с учетом предъявляемых к ним требований.

N п/п	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим выпускам и разделам ЕТКС (издание 1985 - 1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1.	Монтажник микро- модулей	2-4	Монтажник микро- модулей	2-4	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство

Перечень
наименований профессий рабочих, предусмотренных действовавшими разделами ЕТКС, с указанием измененных наименований профессий, разделов и выпусков, в которые они включены

N п/п	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1.	Измеритель элект- рических парамет- ров микромодулей	3-5	Измеритель элект- рических парамет- ров изделий элек- тронной техники	2-5	20	Общие профессии
2.	Комплектовщик ми- кромодулей	3-4	Комплектовщик из- делий электронной техники	2-4	20	-"-
3.	Контролер-прием- щик микроэлемен- тов	2-5	Контролер деталей и приборов	2-6	20	-"-
4.	Монтажник микро- модулей	2-4	Монтажник микро- модулей	2-4	20	Полупро- воднико- вое прои- зводство

4. Производство квантовых приборов

§ 1. Оптик элементов квантовых приборов

2-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей различной конфигурации (линзы, призмы, пластины, клинья) размером до 100 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам свыше 5 колец, местным - свыше 1 кольца, на линейные размеры - свыше - 0,2 мм, на клиновидность для пластин, на углы для клиньев и призм, на параллельность граней и пирамидальность призм - более 6 мм, на косину для линз - 0,3 мм. Изготовление смоляных, суконных и фетровых полировальников.

Должен знать: устройство шлифовально-полировальных и центрировочных станков и правила управления ими; маркировку и сорта оптических стекол; порошки, применяемые при шлифовании и полировании; маркировку вспомогательных материалов (воск, смола, гипс, лак, растворители) и их применение; виды вспомогательных операций (блокировка, разблокировка, гипсовка, разгипсовка) и способы их выполнения; режимы работы в зависимости от марки стекла и марки шлифующих и полирующих порошков; процесс изготовления полировальников и требования, предъявляемые к ним; определение степени засаливания полировальников и их очистку; правила обращения с деталями.

Примеры работ

1. Линзы двояковыпуклые диаметром 39 мм - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 10 колец, местным - 2 кольца, линейным размерам +/- 0,2 мм.

2. Пластины размером 82x82 мм - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 5 колец и клиновидность - 6 минут.

§ 2. Оптик элементов квантовых приборов

3-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей различной конфигурации (линзы, пластины и клинья с фокусностью до 10 км, призмы и др.) размером до 100 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 2-5 колец, местным - 0,5-1 кольцо и размером 100-200 мм с качеством поверхности по общим ошибкам более 5 колец с допусками на линейные размеры - 0,1-0,2 мм, на клиновидность для пластин, на углы для клиньев и призм, на параллельность граней и пирамидальность призмы - 3-6 минут, на угол крыши - свыше 10 секунд, косину для линз - 0,2 мм, децентрировку линз - 0,05-0,2 мм. Шлифование и полирование пластин по 4-7 квалитетам с ориентацией оптической оси. Изготовление пластин на вращающейся планшайбе с соблюдением допусков по толщине +/- 0,01 мм и по контуру +/- 0,015-0,01 мм. Шлифование фасок толщиной до 1 мм. Полирование фасок пластин различных сечений и конфигураций. Подшлифовка пластин в одной плоскости с точностью до 1°. Контроль размеров пластин с помощью оптического оборудования. Установление правильного режима шлифования и полирования. Настройка и регулировка оборудования, применяемого в процессе работы.

Должен знать: правила настройки шлифовально-полировальных станков и центрировочных станков простых конструкций; свойства оптических стекол и их дефекты; шлифующую и полирующую способность шлифовальных и полировальных порошков; свойства вспомогательных материалов (воск, смола, гипс, лак, растворители), область их применения; вспомогательные операции (блокировка, разблокировка, разгипсовка, посадка на оптический контакт, промывка, чистка) и способы их выполнения; правила определения дефектов по классам чистоты; допуски и их обозначение; приемы расшлифовки шлифовальников; основы кристаллографии в объеме выполняемой работы; механические свойства монокристаллов.

Примеры работ

1. Клинья диаметром 45 Ш4 с углом 45° - полное изготовление с подгонкой толщины в размер 2,3 +/- 0,2 с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 3 кольца, местным - 0,5 кольца и на углы - до 10 минут.

2. Линзы диаметром 50 мм - полное изготовление с подгонкой толщины по центру в размер 5 +/- 0,3 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 3 кольца, местным - 0,3 кольца, на косину и децентрировку - 0,1 мм.

3. Ориентированные образцы монокристаллов с допуском на углы +/- 50 минут - доводка.

4. Отражатели размером 45x67 мм - полное изготовление с посадкой на оптический контакт, с подгонкой толщины в размер 7 +/- 0,3 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 1-2 кольца, местным - 0,5 кольца, на клиновидность - 1 минута.

5. Пластины из синтетических монокристаллов с допусками по толщине +/- 0,01 мм и по контуру +/- 0,01 мм - доводка.

6. Призмы многогранные сложной конфигурации размерами 15Сх21, 5С5х14С5 - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 3 кольца, местным - 0,5 кольца и на углы - до 10 +/-5 минут.

§ 3. Оптик элементов квантовых приборов

4-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей из стекла и кристаллов различной конфигурации (линзы, пластины и клинья с фокусностью 10-20 км, многогранные призмы) размером до 100 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 0,5-1 кольцо, местным - менее 0,5 кольца и размером 100-ЗОО мм с качеством поверхности по общим ошибкам 2-5 колец с допусками на линейные размеры менее 0,2 мм, на клиновидность для пластин, на углы для призм и клиньев, на параллельность граней и пирамидальность призм - менее 3 минут, на косину для линз - 0,1-0,2 мм, децентрировку 0,05 мм, на угол крыши - 5-10 секунд, разрешающую силу - 12-22 секунд. Изготовление эталонных, пробных стекол диаметром до 80 мм. Шлифование и полирование сложных пластин по 4-7 квалитетам с ориентацией оптической оси с точностью до 1°. Изготовление пластин на вращающейся планшайбе с соблюдением допусков по толщине +/- 0,002 мм и по контуру +/- 0,005 мм. Шлифование фасок толщиной до 0,1 мм. Полирование фасок пластин различных сечений и конфигураций. Подшлифовка пластин в одной плоскости с точностью до 40 минут. Контроль размеров пластин с помощью оптического оборудования. Настройка шлифовально-полировальных и центрировочных станков различных систем. Настройка приборов для проверки угловых и линейных размеров.

Должен знать: устройство шлифовально-полировальных и центрировочных станков разных систем, управление ими и правила настройки их; правила настройки приборов для проверки линейных и угловых размеров; маркировку, характер кристаллов и их строение; систему допусков и посадок; правила проверки разрешающей силы на приборе; способы повышения качества обрабатываемых изделий.

Примеры работ

1. Зеркала металлические (сплав 3240 ГОСТ 10994-64) - шлифовка, полировка с одной стороны до диаметра 110 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 2...5 колец, местным ошибкам - 0,5 кольца.

ГАРАНТ:

Взамен ГОСТ 10994-64 постановлением Госстандарта СССР от 17 января 1974 г. N 147 с 1 января 1975 г. введен в действие ГОСТ 10994-74

2. Клинья размером 77x50 мм - полное изготовление с подгонкой толщины в размер 8 +/- 0,3 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 1 кольцо, местным - 0,2 кольца, на углы - 15 секунд.

3. Линзы плосковыпуклые диаметром 73 мм - полное изготовление с подгонкой толщины по центру в размер 5 +/- 0,3 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 1 кольцо, местным - 0,2 кольца, на косину - 0,01 мм.

4. Ориентированные образцы монокристаллов с допуском на углы +/- 30 минут - доводка.

5. Пластины из синтетических монокристаллов с допусками по толщине +/- 0,002 мм и по контуру +/- 0,005 мм, с точностью ориентации оптической оси +/- 20 минут - доводка.

6. Пластины для квантовых приборов с допуском на клиновидность от 30 секунд до 3 секунд - доводка.

7. Призмы размерами 22,5x15,3 +/- 0,3х22,5 мм - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,5-1 кольцо, местным 0,2-0,5 кольца, на разность углов - 2 минут, на пирамидальность - 3 минуты, на углы +/- 3 секунды.

8. Призмы крышеобразные размерами 25x18С4x11,8 мм - полное изготовление с допусками на линейные размеры +/- 0,1 мм, на качество поверхности по общим ошибкам -1-3 кольца, местным 0,2-1 кольцо, на углы 5 секунд, на угол крыши +/- 30 секунд, на смещение сферы не более 0,002 мм.

§ 4. Оптик элементов квантовых приборов

5-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей из стекла различной конфигурации (линзы, пластины и клинья с фокусностью 20-40 км, пяти-шестигранные призмы и др.) размером до 100 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 0,5 кольца и менее, размером 100-300 мм - по 1-5 классам чистоты с качеством поверхности по общим ошибкам менее 2 колец, размером свыше 300 мм - по 1-6 классам чистоты с качеством поверхности по общим ошибкам менее 5 колец с допусками на линейные размеры - 0,1 мм и менее, на клиновидность для пластин, на углы для клиньев и призм, на параллельность граней и пирамидальность призм - 1 минута и менее, на децентрировку и косину для линз - менее 0,05 мм, на угол крыши - 2-5 секунды и разрешающую силу 6-12 секунд. Изготовление эталонных, пробных стекол диаметром 80-130 мм. Изготовление эталонных асферических линз с общим отклонением на радиус-вектор +/- 0,003 мм и местным отклонением +/- 0,001 мм. Шлифование и полирование пластин особой сложности по 4-5 квалитетам с ориентацией оптической оси до 20 секунд. Изготовление опытных образцов пластин с допусками на клиновидность и параллельность 0,001 мм с подшлифовкой в двух плоскостях с точностью до 20 минут. Изготовление пластин различной конфигурации, сложности и размеров. Обслуживание оборудования. Контрольные измерения пластин с помощью сложных оптико-механических приборов. Полная наладка оптико-механического оборудования, применяемого при шлифовании и контрольных измерениях.

Должен знать: технологический процесс изготовления пробных стекол и шлифования пластин из синтетических монокристаллов любой толщины; способы изготовления пластин и обработки стекла любой конфигурации; правила эксплуатации оптико-механического оборудования, применяемого при контрольных измерениях; способы и методы повышения качества обрабатываемых пластин; выбор технологической последовательности обработки деталей по выполняемым операциям.

Примеры работ

1. Линзы эксцентрические диаметром 136 мм - полной изготовление со смещением центра и подгонкой толщины по центру в размер 16 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,5-0,1 кольца, местным - 0,1 кольца, на косину - 0,003 мм.

2. Ориентированные образцы монокристаллов - доводка с допуском на углы +/- 15 минут.

3. Пластины из синтетических монокристаллов различной конфигурации - доводка по 4-5 квалитетам с точностью ориентации оптической оси +/- 10 минут.

4. Пластины для квантовых приборов с допуском на клиновидность до 10 секунд и менее - доводка.

5. Пластины плоскопараллельные размерами ЗОх40 +/- 0,01 мм - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 0,3 кольца, местным - О колец, на клиновидность - 5 секунд.

6. Пластины диаметром 80 мм с фокусным расстоянием 10 км - полное изготовление с подгонкой толщины в размере 8 +/- 0,2 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,5 кольца, местным - 0,1 кольца, на клиновидность +/- 10 секунд.

7. Призмы крышеобразные размерами 63х35 +/- 0,3х35 +/- 0,3 мм - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,2-0,3 кольца, местным 0-0,05 кольца, на пирамидальность - 5 минут, на разрешающую силу - 8 секунд, с подгонкой угла крыши +/- 4 секунды.

8. Призмы размерами 40В7х82.4х44 мм сложной конфигурации, имеющие более трех граней - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,5-1 кольцо, местным - 0,2-0,5 кольца, на углы +/- 1 минута, непараллельность граней до 10 минут и разрешающую силу - 4 секунды.

9. Призмы - изготовление призм (18 +/- 0,2)х(14 +/- 0,2)х(6,6 +/О,1) угол 10°32'40" +/- 5"; центровка сферической поверхности не более 1', с качеством поверхности по общим ошибкам 0,5 колец, местным - 0,3, с пирамидальностью в 15".

§ 5. Оптик элементов квантовых приборов

6-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей различной конфигурации (линзы со смещенными центрами, эллиптические зеркала, фигурные пластины и двусторонние клинья с фокусностью более 40 км, призмы, имеющие не менее 8 граней): размером 100-300 мм с качеством поверхности по общим ошибкам менее 0,5 кольца и размером свыше 300 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 2 кольца с допусками на линейные размеры 0,005 мм и менее, на клиновидность для пластин, углы для призм и клиньев, параллельность граней и пирамидальность призм - 30 секунд и менее, на косину, децентровку линз - менее 0,06 мм, на угол крыши и разрешающую силу - менее 2 секунд. Изготовление асферических эталонных линз с общим отклонением радиус-векторов +/- 0,002 мм и местным отклонением +/- 0,0005 мм. Изготовление призм из исландского шпата. Изготовление эталонных пробных стекол диаметром более 100 мм. Полное изготовление пластин особой сложности из синтетических монокристаллов по 4-5 квалитетам с ориентацией оптической оси до 10 минут. Ориентация монокристаллов оптическим, радиоспектрометрическим и рентгеновским методами. Контрольные измерения изделий из синтетических монокристаллов с применением сложных оптических приборов. Обслуживание, наладка и выявление неисправностей оборудования, применяемого при шлифовании и контрольных измерениях.

Должен знать: состав и свойства синтетических монокристаллов; способы определения твердости кристаллов; способы ориентации кристаллов; процесс изготовления изделий любой формы из синтетических кристаллов с применением приспособлений, а также сложных контрольно-измерительных инструментов и приборов; правила эксплуатации оборудования и приспособлений, применяемых при шлифовании и контрольных измерениях, и методы выявления их неисправностей.

Примеры работ

1. Интерферометры - сборка и настройка с клиновидностью базового зазора не менее 2" , с посадкой оптических деталей контактным методом.

2. Пластины диаметром 220 мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,5 кольца, местным - 0,02 кольца под теневую установку.

3. Призмы сложной конфигурации - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,3 кольца, местным - 0,5 кольца, на углы +/- 3 секунды, на пирамидальность - 10 секунд.

4. Призмы размером (23,5 +/- 0,2)х(17,7 +/- 0,2) мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 0,3 кольца, местным - 0,1 кольца, на разность углов - О секунд, на пирамидальность - 3 секунды и разрешающую силу - 5 секунд.

5. Призмы многогранные (31 грань) с шириной грани 10 мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 0,5 кольца, местным - 0,2 кольца, на углы +/- 30 секунд, на разрешающую силу - 13 секунд.

6. Стекла астрономические выпуклые диаметром 450 мм с радиусом эллипса 232,25 мм - полная обработка с допусками на линейные размеры +/0,2 мм и кругом рассеивания в точках не более 0,2 мм.

§ 6. Оптик элементов квантовых приборов

7-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей различных конфигураций (линзы с цилиндрическими поверхностями, асферические зеркала, призмы полного внутреннего отражения, шаровая микрооптика диаметром от 0,5 до 1,5 мм, пластины и двухсторонние клинья с фокусностью свыше 40 км) с качеством поверхности по общим ошибкам менее 0,25 кольца, с допусками на линейные размеры - 0,001 мм и менее, на клиновидность для пластин, углы для призм и клиньев менее 2 секунд, отклонение диаметра шаровой микрооптики менее 0,001 мм. Изготовление составных оптических изделий методом глубокого оптического контакта. Изготовление накладных контрольно-измерительных средств в соответствии с ГОСТом по 1 группе сопряжения. Полное изготовление деталей из кристаллов каменной соли и непрочных химико-механических оптических стекол. Полное изготовление пластин особой сложности из кристаллических материалов с ориентацией оптической оси до 1 минуты. Ориентация кристаллов оптическим, рентгенометрическим и рентгеновским методами. Контрольные измерения изделий с применением сложных оптических приборов с использованием лазерного излучения. Расчет конструктивных параметров технологической оснастки, используемой при изготовлении высокоточных изделий. Экспериментальные работы по полировке и доводке оптических деталей с подбором абразивных порошков и полировочных паст. Обслуживание, наладка и выявление неисправностей оборудования, применяемого при изготовлении изделий и контрольных измерениях.

Должен знать: технологический процесс изготовления сферических, асферических, конических и других форм оптических деталей; технологические процессы изготовления высокоточных изделий из стекла и кристаллов с применением лазерных контрольно-измерительных средств; свойства и способы изготовления оптических деталей из кристаллов различной твердости и химически непрочных стекол; виды деформаций в кристаллах и стекле; расчет конструктивных параметров технологической оснастки, необходимой для изготовления изделий квантовой электроники; правила эксплуатации оборудования и приспособлений, применяемых при изготовлении и контроле высокоточных изделий, методы выявления их неисправностей.

Примеры работ

1. Триппель - призмы диаметром от 5 до 100 мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 0,25 кольца, местным - 0,1 кольца, на углы +/- 2 секунды, на разрешающую силу - 2 секунды.

2. Линзы шаровые из кристаллических материалов диаметром до 0,5 мм - полная обработка с допуском по диаметру, не превышающим 0,001 мм.

3. Призмы сложной конфигурации, лазерные элементы размером менее 3 мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 0,25 кольца, местным - 0,1 кольца, на углы +/- 2 секунды, на пирамидальность менее 5 секунд.

4. Призмы полного внутреннего отражения (ПВО) - полная обработка с требованиями к оптической чистоте рабочих поверхностей, превышающими требования ГОСТа по РО-10.

Стекла пробные с цилиндрическими поверхностями - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - менее 0,5 кольца, местным - 0,2 кольца.

N п/п	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1	2	3	4	5	6	7
1.	Оптик элементов квантовых прибо- ров	2-7	Оптик элементов квантовых прибо- ров	2-6	20	Полупро- воднико- вое про- изводство

Перечень
наименований профессий рабочих, предусмотренных действовавшим разделом ЕТКС, с указанием измененных наименований профессий, разделов и номеров выпусков, в которые они включены

N п/п	Наименование про- фессий по дейст- вовавшим разделам ЕТКС (издание 1985-1986 гг.)	Диапа- зон разря- дов	Наименование про- фессий, помещен- ных в настоящем разделе	Диапа- зон разря- дов	N вы- пуска ЕТКС	Сокращен- ное наи- менование раздела
1	2	3	4	5	6	7
1.	Оптик элементов квантовых прибо- ров	2-6	Оптик элементов квантовых прибо- ров	2-7	20	Полупро- воднико- вое про- изводство
2.	Сборщик квантовых приборов	3-6	Сборщик изделий электронной тех- ники	1-6	20	Общие профессии

<< Перечень наименований профессий рабочих, предусмотренных действовавшими разделами ЕТКС (издание 1985-1986 гг.), с указанием...
	Содержание Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих. Выпуск 20. Часть 1. Производство изделий электронной...

Раздел "Полупроводниковое производство"

Информация об изменениях:

Информация об изменениях:

ГАРАНТ:

Откройте актуальную версию документа прямо сейчас