Государственный стандарт СССР ГОСТ 25196-82 (СТ СЭВ 2760-80) "Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования" (введен в действие постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 31 марта 1982 г. N 1383)

Срок действия установлен
с 01.07 1983 г.
до 01.07 1988 г.

ГАРАНТ:

Ограничение срока действия настоящего ГОСТа снято протоколом МГС от 5 октября 1992 г. N 2-92 (ИУС N 2-93)

См. графическую копию