Приложение D (справочное). Испытание на проскок с помощью аэрозоля с частицами PSL

Приложение D
(справочное)

Испытание на проскок с помощью аэрозоля с частицами PSL

D.1 Основные положения

Субстанции, подобные жидким маслам, могут представить потенциальный риск для контролируемых НЕРА и ULPA фильтров, используемых в чистых помещениях электронной, космической и других отраслях промышленности. Жидкие частицы оседают и накапливаются в материале фильтра при проведении испытаний, затем могут выделяться наружу при эксплуатации фильтра и оказать влияние на технологический процесс. Не допускается использовать жидкие частицы для контроля тефлоновых (PTFE) мембранных фильтров из-за особенностей этого материала.

Все стандартные методы испытаний на проскок и оценки эффективности фильтров и их классификация по стандартам ЕН 1822 (все части) основаны на использовании жидких частиц контрольных аэрозолей (DEHS, РАО, парафиновое масло). Метод испытаний с применением жидких частиц прост и дает воспроизводимые результаты. От типа контрольного аэрозоля зависят методики испытаний по стандартам ЕН 1822 (все части), требования к приборам, стендам и статистическим методам. Тип аэрозоля влияет на результаты испытаний и классификацию фильтров. Поэтому невозможно просто заменить аэрозоль с жидкими частицами на аэрозоль с твердыми частицами без существенного влияния на результаты испытаний и результаты классификации фильтров.

Данное приложение содержит метод испытаний и классификации фильтров с использованием твердых частиц аэрозоля (PSL) путем сканирования фильтра. Эффективность и класс фильтров определяют по ЕН 1822-1. В качестве базового метода используется метод с жидкими частицами DEHS.

D.2 Характеристика метода

Не допускается определять класс фильтра методом сканирования по средним концентрациям частиц до и после фильтра по ЕН 1822-1, если используется аэрозоль с частицами PSL. Это вызвано тем, что значения интегральной эффективности для твердых частиц и жидких частиц (DEHS) различаются из-за электростатического заряда.

Сканирование с использованием твердых частиц контрольного аэрозоля применяют только для проверки отсутствия проскока в фильтре. Критериями служат граничные значения, соответствующие максимальным проскокам по таблице 1 ЕН 1822:2009 для каждого класса.

Для классификации фильтра по эффективности из серии продукции отбирают представительное число контрольных фильтров и проводят испытания по базовому методу с использованием частиц DEHS (ЕН 1822-5), на основании которых присваивают класс для всей серии фильтров. Для остальных фильтров этой же серии проводят только контроль на проскок по частицам PLS согласно приложению D. Технические характеристики и данные контроля (размер и конструкция фильтров, поток контрольного воздуха и пр.) контролируемых фильтров (уже испытанных частицами DEHS) и фильтров, испытуемых частицами PSL, должны быть идентичными.

D.3 Методика испытаний

Для испытаний фильтров частицами PSL могут быть использованы те же оборудование и методика, что и для испытаний с частицами DEHS по ЕН 1822-4. Исключением является тип генератора аэрозолей, имеющий для частиц PSL свои особенности. Основной задачей является достижение достаточной концентрации частиц PSL до фильтра.

В настоящее время коммерчески доступен только генератор аэрозолей PSL высокой производительности корпорации MSP (MSP Corporation, Shoreview, MN 55126, USA, www.mspcorp.com), модель N 2045.

На рисунках D.1 и D.2 показаны примеры конструкции генератора частиц PSL высокой производительности на водной эмульсии с форсункой и секцией осушения.

Описание конструкции

Форсунка (рисунок D.2) распыляет раствор частиц PSL в чистой воде с помощью сжатого воздуха под давлением Р в камеру. В эту камеру подается горячий воздух от НЕРА фильтра 4 с температурой Т1 для быстрого рассеивания и испарения воды. Горячий воздух готовится регулируемым подогревателем и подается вентилятором с расходом от 40 до 50 . Затем воздух проходит секцию конденсации 5, где охлаждается до температуры Т2 при относительной влажности RH2 (7). Сборник воды 6 предназначен для сбора избыточной воды от секции охлаждения и позволяет снизить риск попадания воды в систему контроля.

Рекомендуемые параметры работы:

Т1 = 100°С - 175°С;

Р = 1-5 бар;

q = 5-25 мл/мин;

Т2 = 20°С - 23°С (предпочтительны значения, равные или меньше температуры контрольного воздуха);

RH > 90%.

D.4 Протокол испытаний

В дополнение к требованиям раздела 10 ЕН 1822-4:2009 в протокол испытаний должно быть включено следующее:

- указание о том, что фильтр прошел контроль на проскок по ЕН 1822-4:2009 (приложение D) и его эффективность определена на основе статистических данных;

- наименование контрольного аэрозоля (например, с твердыми частицами PSL);

- данные о генераторе аэрозолей;

- указание на то, что средняя концентрация частиц PSL не может быть использована для классификации фильтра.

______________________________

* Наименование "High output PSL aerosol generator" является товарным знаком продукции корпорации MSP. Эта информация приведена лишь для сведения пользователей. Упоминание о нем в стандарте не означает его поддержку в какой-либо форме. Могут быть использованы эквивалентные приборы, если они имеют те же характеристики.