Приложение В (справочное). Протоколы чистоты

Приложение В
(справочное)

Протоколы чистоты

Согласно ГОСТ Р ИСО 14644-4 монтаж чистых помещений следует выполнять в соответствии с планом качества, частью которого является протокол чистоты, который в свою очередь отражает мероприятия, предназначенные для достижения заданного класса чистоты в чистых помещениях.

В период строительства нужно уделять особое внимание поддержанию чистоты на строительной площадке, организации работы и одежде персонала, распределению производства работ во времени. Работы, являющиеся более сильными источниками загрязнений, нужно выполнять до "чистых" операций, имеющих более высокую чувствительность к загрязнениям. Во время монтажа следует систематически собирать и удалять загрязнения, образующиеся при выполнении строительных работ.

Могут применяться различные специальные защитные меры, например, повышение давления в критических зонах, создание временных экранов и стен, использование "бросовых" фильтров в системе подготовки воздуха. После завершения монтажа до установки фильтров следует "продуть" систему вентиляции. Особое внимание следует обратить на очистку упаковки поступающего оборудования и материалов.

Основная идея протокола чистоты состоит в том, что нельзя добиться высокого класса чистоты без соблюдения требований чистоты при строительстве. "Грязно" построенное помещение нельзя привести в надлежащий порядок. Загрязнения, привнесенные, накопленные и не убранные при строительстве, нельзя полностью удалить в построенном чистом помещении при его подготовке к пуску. Во время эксплуатации будут происходить неожиданные выбросы скрытых загрязнений.

Наглядно схема чистого строительства может быть представлена в виде таблицы, в которой весь процесс строительства разделен во времени на шесть этапов.

На всех этапах составляются перечни допущенных отклонений от требований протокола чистоты.

В таблице приведена общая схема протокола чистоты. В каждом случае исполнитель сам решает, какие задачи и как отразить, оформляя это. при необходимости в виде инструкций (по переодеванию, уборке, поведению персонал, порядку доступа и пр.).

При разработке и выполнении протокола чистоты следует учитывать специфику строительства и особенности строительной площадки. Объем и содержание протокола чистоты зависят от класса чистого помещения. Например, микроэлектронное производство чувствительно к молекулярным загрязнениям, при реконструкции зданий могут представлять опасность имеющиеся биологические загрязнения и пр.

Для микроэлектроники можно выделить два вида протоколов чистоты:

1) Для чистых помещений классов 5 ИСО - в ИСО протокол дает принципы управления и контроля, определяет последовательно возрастающие требования к обеспечению чистоты.

2) Для чистых помещений классов 3 ИСО - 4 ИСО (производство пластин, фотолитография и другие ответственные операции при производстве микросхем) наряду с выполнением этих требований следует предусмотреть последовательность повышения эффективности фильтрации воздуха, подаваемого в зону монтажа, т.е. обеспечения определенного класса чистоты воздуха в самой зоне монтажа. Этот класс повышается по мере приближения к завершению монтажа.

Следует иметь в виду, что протокол чистоты должен быть воспринят исполнителями и руководством, чтобы к нему не было формального отношения.

Таблица B.1 - Схема протокола чистоты

	Этап 1	Этап 2	Этап 3	Этап 4	Этап 5	Этап 6
	Общестроительные работы	Монтаж воздуховодов, электрических сетей и пр	Монтаж чистых помещений	Регулировка системы вентиляции	Аттестация чистого помещения
					построенного	оснащенного
Цель	Подготовка площадки под монтаж чистых помещений и коммуникаций	Готовность к монтажу чистых помещений	Готовность чистых помещений к подаче воздуха	Готовность чистых помещений к аттестации	Аттестация в построенном состоянии	Аттестация в оснащенном состоянии
Состав работ	Строительство здания, его реконструкция или перепланировка (возведение перегородок, штукатурно-малярные работы)	Выполнение работ, в т.ч. скрытых, по устройству воздуховодов, сетей и др. коммуникаций	Монтаж ограждающих конструкций и др. комплектующих чистого помещения, завершение монтажа системы автоматического регулирования параметров микроклимата	Балансирование воздухообмена, наладка системы автоматического регулирования параметров микроклимата, установка НЕРА-фильтров	Аттестация построенного чистого помещения, в т.ч. контроль целостности НЕРА-фильтров в критических зонах	Завершение монтажа оборудования. Аттестация оснащенного чистого помещения
Документация	Проект, проект организации строительства	Проект	Монтажная документация, проект	Проект, исполнительная документация	Программа испытаний	Программа испытаний
Чем завершается	Сдача площадки, готовность по общестроительным работам, подвод коммуникаций	Испытания воздуховодов на герметичность с составлением акта, проверка коммуникаций и энергоносителей	Визуальный контроль герметичности швов стеновых и потолоч