Приложение А (обязательное). Коэффициенты зеркального и диффузного отражений

Приложение А
(обязательное)

Коэффициенты зеркального и диффузного отражений

Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в спектральном диапазоне ЭУФ излучения проводят для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике. Коэффициент зеркального отражения плоского зеркала для параллельного пучка излучения, падающего под углом к нормали, на длине волны рассчитывают по формуле

,

(А.1)

где - поток излучения на длине волны , отраженный под углом к нормали;

- поток излучения на длине волны , падающий на зеркало под углом к нормали.

Коэффициент диффузного отражения определяют в общем виде по формуле

,

(А.2)

где - яркость рассеянного при отражении излучения, которая интегрируется в пределах телесного угла = 2 и по площади А;

А - площадь области образца, освещаемой падающим излучением;

- поток падающего на образец под углом = 0 параллельного пучка излучения на длине волны .

При определении коэффициента диффузного отражения измеряют угловую зависимость освещенности рассеянного при отражении излучения E() с равномерным шагом по углу ; m - число градаций по углу .

На практике коэффициент диффузного отражения рассчитывают с использованием интегральных сумм по формуле

,

(А.3)

где R - расстояние от области образца, освещаемой падающим излучением, до фотоприемника рефлектометра.