Приложение А (справочное). Примеры спектров

Приложение А
(справочное)

Примеры
спектров

Рисунки А.1 и А.2 являются примерами обзорного спектра и спектра высокого разрешения соответственно. Спектры получены для фоторезистного полипропиленового покрытия (сторона сухой пленки). Рисунок А.3 представляет собой пример профилей распределения элементов по глубине, а рисунок А.4 показывает примеры химических карт.

По оси X указана энергия связи (в эВ), а по оси Y - число отсчетов в секунду. Дальнейшая информация, такая как время сбора данных, калибровка энергетической шкалы и коррекция заряда, приведена в лабораторном или электронном журналах. (Данные предоставлены Thermo Fisher Scientific)

Рисунок А.1 - Фоторезистное полипропиленовое покрытие. Обзорный спектр, содержащий минимальную информацию

По оси X указана энергия связи (в эВ), а по оси Y - число отсчетов в секунду. Информация о параметрах аппроксимации приведена в лабораторном или электронном журналах. (Данные предоставлены Thermo Fisher Scientific)

Рисунок А.2 - Фоторезистное полипропиленовое покрытие - спектр С 1s, представляющий собой результат аппроксимации, выполненной с помощью стандартного коммерческого программного обеспечения

По оси Х отложена глубина (в нм), а по оси Y - атомарная концентрация (в %). Слой Та ₂O ₅ на тантале был проанализирован с помощью РФЭС профилирования с использованием ионного распыления. Профиль, показывающий увеличение атомарной концентрации с глубиной, соответствует Та 4f (4f - обозначение четвертой электронной оболочки атома кислорода, f - соответствует f-электрону). Профиль, показывающий уменьшение атомарной концентрации с глубиной, соответствует O 1s. Условия эксперимента: энергия ионного пучка аргона составляет 1 кэВ, ток пучка равен 3 мкА, площадь сканирования равна 4 x 2 мм, угол равен 58° по отношению нормали к образцу, вращение отсутствует, общее время травления 900 с. Скорость травления была откалибрована с помощью стандартного образца Та ₂O ₅. Профили распределения по глубине были получены с помощью программного обеспечения, реализующего аппроксимацию линейной функцией с помощью метода наименьших квадратов. (Данные предоставлены Thermo Fisher Scientific)

Рисунок А.3 - Пример профилей распределения элементов по глубине, полученных с помощью РФЭС

Рисунок А.4 - Примеры карт, полученных с помощью РФЭС

a) Карта распределения относительной концентрации атомарного углерода, содержащегося в CF ₂; карта получена с использованием спектрального пика С 1s.

b) Карта распределения относительной концентрации атомарного углерода, для которого реализована связь С - С; карта получена с использованием спектрального пика С 1s.

Условия эксперимента: картирование с помощью предметного столика, размер пятна составляет 30 мкм для монохроматического рентгеновского излучения в линии A , размер шага 10 мкм, энергия пропускания анализатора 150 эВ, 64-канальный снимок спектра на каждый пиксель, линейный фон, из огибающей С 1s вычитался линейный фон, применялась аппроксимация пиков, количественная информация была получена из аппроксимированных пиков. (Данные предоставлены Thermo Fisher Scientific).