Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 сентября 2018 г. N 2089 "Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях"

В соответствии с Положением об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. N 734 "Об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений", Временным порядком разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 31 августа 2017 г. N 1832, а также на основании Плана разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем на 2018 г., утвержденного приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2017 г. N 3021, приказываю:

1. Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях (далее - ГПС).

2. Установить, что ГПС применяется для Государственного первичного эталона единиц поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях (ГЭТ 168-2015), средств измерений поверхностной плотности в диапазоне от 0,0001 до 1,000 и массовой доли элементов в покрытиях от 1 до 100% и вводится в действие с 1 января 2019 г.

3. Управлению технического регулирования и стандартизации (Д.А. Тощев) обеспечить отмену национального стандарта Российской Федерации ГОСТ Р 8.612-2011 "Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений поверхностной плотности покрытий в диапазоне от 0,0001 до 1,000 ".

4. ФГУП "ВНИИФТРИ" (С.И. Донченко) внести информацию об утверждении ГПС в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

5. Управлению метрологии (Д.В. Гоголев) обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационно-телекоммуникационной сети Интернет.

6. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя

С.С. Голубев

ГАРАНТ:

Настоящая Государственная поверочная схема вводится в действие с 1 января 2019 г.

УТВЕРЖДЕНА
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 28 сентября 2018 г. N 2089

Государственная поверочная схема для средств измерений поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях

1. Область применения

Государственная поверочная схема для средств измерений поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях распространяется на государственный первичный эталон единиц поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях и устанавливает порядок передачи единиц поверхностной плотности (килограмм на метр в квадрате, ) и массовой доли (процент, %) от государственного первичного эталона рабочим эталонам, а также средствам измерений времени и частоты с указанием показателей точности эталонов, средств измерений и методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях представлена в приложении А.

2. Обозначения

ГПЭ - государственный первичный эталон;

- поверхностная плотность покрытия;

С - массовая доля элемента в покрытии;

- относительное среднее квадратическое отклонение;

- относительная неисключенная систематическая погрешность;

- предел допускаемой относительной погрешности средств измерений;

- доверительные границы относительной погрешности рабочих эталонов.

3. Государственный первичный эталон

3.1 Государственный первичный эталон единиц поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях ГЭТ 168-2015 предназначен для хранения, воспроизведения единицы поверхностной плотности в диапазоне от до 1,000 и единицы массовой доли элементов в диапазоне от 1 до 100% в покрытиях и передачи единиц рабочим эталонам и средствам измерений с целью обеспечения единства измерения.

3.2 Государственный первичный эталон состоит из комплекса следующих средств измерений и вспомогательных устройств:

рентгеновский преобразователь, содержащий Si-PIN-детектор, источник гамма-излучения на основе радионуклида америций-241 и источник рентгеновского излучения на основе радионуклида плутоний-238;

бета-преобразователь, содержащий 4 счетчика СИ-15БГ, бета-источник на основе радионуклида прометий-147;

бета-преобразователь, содержащий 8 счетчиков СБМ-20, бета-источник на основе радионуклидов стронций-90+иттрий-90;

рентгеновский преобразователь, содержащий Si-PIN-детектор XR-100CR, рентгеновскую трубку Bullet с системой вакуумирования измерительной камеры;

рентгеновский преобразователь FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237;

эталоны сравнения поверхностной плотности и массовой доли элементов покрытий, представляющие собой исследованные образцы с покрытием или модели, имитирующие покрытия;

набор образцов чистых металлов.

3.3 Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы поверхностной плотности покрытий* с относительным средним квадратическим отклонением среднего арифметического результата измерений от 0,50 до 1,0% при 10 независимых измерениях;

относительной неисключенной систематической погрешностью от 0,30 до 2,0% (Р = 0,95);

относительной стандартной неопределенностью типа А от 0,50 до 1,0% при 10 независимых измерениях;

относительной стандартной неопределенностью типа В от 0,20 до 1,0%.

3.4 Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы массовой доли элементов в покрытиях с относительным средним квадратическим отклонением среднего арифметического результата измерений от 0,50 до 2,0% при 10 независимых измерениях;

относительной неисключенной систематической погрешностью от 1,5 до 5,0% (Р = 0,95);

относительной стандартной неопределенностью типа А от 0,50 до 2,0% при 10 независимых измерениях;

относительной стандартной неопределенностью типа В от 1,0 до 3,0%.

3.5 Эталоны сравнения предназначены для хранения, воспроизведения и передачи с применением аппаратуры ГЭТ 168-2015 единиц поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях рабочим эталонам и СИ методом прямых измерений, а также проведения сличений с аналогичными эталонами, которые невозможно сличать непосредственно".

4. Рабочие эталоны

4.1 В качестве рабочих эталонов применяют стандартные образцы поверхностной плотности покрытий в диапазоне от до 1,000 и массовой доли элементов в покрытии в диапазоне от 1 до 100%.

4.2 Доверительные границы относительной погрешности рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,95, , составляют от 1,5 до 5,0% в диапазоне поверхностной плотности от до 1,000 .

4.3 Доверительные границы относительной погрешности рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,95, , составляют от 3,0 до 15% в диапазоне массовой доли от 1 до 100%.

4.4 Рабочие эталоны применяют для передачи единиц средствам измерений методом прямых измерений.

4.5 Соотношение доверительных границ относительной погрешности рабочих эталонов и пределов допускаемой относительной погрешности средств измерений не должно превышать 1:1,5.

5. Средства измерений

5.1 В качестве средств измерений применяют:

измерительные системы и измерители поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях;

анализаторы и измерители покрытий рентгенофлуоресцентные;

радиоизотопные толщиномеры покрытий.

5.2 Пределы допускаемой относительной погрешности, , средств измерений составляют:

от 2,5 до 6,0% в диапазоне измерений поверхностной плотности однослойных покрытий от до 1,000 ;

от 5 до 10% в диапазоне измерений поверхностной плотности многослойных покрытий от до 1,000 .

5.3 Пределы допускаемой относительной погрешности, , средств измерений составляют:

от 5 до 15% в диапазоне измерений массовой доли элементов в однослойных покрытиях от 1 до 100%;

от 10 до 30% в диапазоне измерений массовой доли элементов в многослойных покрытиях от 1 до 100%.

______________________________

* Значения толщины покрытия (мкм) могут быть определены путем пересчета значений поверхностной плотности покрытия с использованием справочных или экспериментальных данных о плотности материала покрытия.

Приложение А

Государственная поверочная схема для средств измерений поверхностной плотности и массовой доли элементов в покрытиях