Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. N 2657 "Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм"

В соответствии с Положением об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. N 734, Временным порядком разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 31 августа 2017 г. N 1832, а также Планом разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем на 2019 год, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. N 2819, приказываю:

1. Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм (далее - ГПС).

2. Установить, что:

ГПС применяется для Государственного первичного специального эталона единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014), эталонов и средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra и вводится в действие с 1 января 2020 г.;

эталоны, аттестованные на соответствие ГОСТ 8.296-2015 "Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм" (далее - ГОСТ 8.296-2015) или локальным поверочным схемам, применяются до даты окончания срока действия свидетельства об аттестации, выданного до ввода в действие ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие ГОСТ 8.296-2015, соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат периодической аттестации на соответствие ГПС не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации, в документы на эталоны вносятся соответствующие изменения;

эталоны, аттестованные на соответствие ГОСТ 8.296-2015, не соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие локальным поверочным схемам, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

информация о прекращении применения эталонов по ГОСТ 8.296-2015 или локальным поверочным схемам или об изменении ГПС для эталонов, не требующих переутверждения, передается держателем эталона в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений после даты окончания срока действия свидетельства об аттестации.

3. Управлению технического регулирования и стандартизации (И.А. Киреева) совместно с ФГУП "ВНИИМС" (А.Ю. Кузин) обеспечить прекращение применения в качестве национального стандарта Российской Федерации межгосударственного стандарта ГОСТ 8.296-2015 "Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм".

4. ФГУП "ВНИИМС" (А.Ю. Кузин) направить сведения о ГПС в ФГУП "ВНИИФТРИ" (С.И. Донченко) для их внесения в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

5. Управлению метрологии (Д.В. Гоголев) обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационно-телекоммуникационной сети "Интернет".

6. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя

С.С. Голубев

УТВЕРЖДЕНА
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 6 ноября 2019 г. N 2657

Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости , в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм

1. Область применения

1.1. Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости от Государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014) средствам измерений при помощи вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм представлена в Приложении А.

Примечание:

Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров шероховатости с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

Допускается поверять средства измерений, тип которых был утвержден до начала введения в действие данной государственной поверочной схемы, с использованием эталонов, аттестованных в установленном порядке, и приведенных в описании типа и методике поверки средства измерений.

2. Государственный первичный специальный эталон

2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

модернизированный прецизионный метрологический сканирующий зондовый микроскоп нанометрового диапазона НаноСкан-3Di в диапазоне от 0,001 до 50 мкм;

модернизированный автоматизированный интерференционный микроскоп МИА-М1 в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм;

модернизированный прецизионный контактный профилометр нанометрового диапазона Talystep в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм;

модернизированный контактный широкодиапазонный профилометр Form TalySurf в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.

2.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности:

а) Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 12,5 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу В, мкм,

суммарная стандартная неопределенность, мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, мкм,

б) Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 0,75 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу В, мкм,

суммарная стандартная неопределенность, мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, мкм,

в) Rmax и Rz в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм; Ra в диапазоне от 0,006 до 0,025 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу В, мкм,

суммарная стандартная неопределенность, мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, мкм,

г) Rmax и Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм; Ra в диапазоне от 0,4 до 750 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу В, мкм,

суммарная стандартная неопределенность, мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, мкм.

2.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra с указанной точностью должны быть соблюдены правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

2.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости вторичным эталонам и рабочим эталонам 1-го разряда методом сличения при помощи мер, аттестованных в качестве вторичного эталона, и методом прямых измерений.

3. Вторичные эталоны

3.1. В качестве вторичных эталонов используют оптические профилометры и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

3.2. Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результата сличений вторичных эталонов с ГПСЭ при 20 независимых измерениях составляют от 0,01% до 1,5%.

3.3. Вторичные эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

4. Рабочие эталоны

4.1. Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

4.1.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей и доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 0,04% до 3%.

4.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 2-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

4.2. Рабочие эталоны 2-го разряда

4.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

4.2.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей и доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 0,08% до 6%.

4.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 3-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

4.3. Рабочие эталоны 3-го разряда

4.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

4.3.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей и доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от 0,2% до 12%.

4.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

5. Средства измерений

5.1. В качестве средств измерений применяют микроинтерферометры (МИИ), приборы светового (ПСС) и теневого (ПТС) сечений, профилометры контактные, приборы бесконтактные для измерений топографии поверхности, микроскопы сканирующие зондовые (СЗМ) и образцы шероховатости поверхности сравнения в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

5.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей средств измерений составляют от 1% до 50%.

Приложение А
(обязательное)

Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм