ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Откройте актуальную версию документа прямо сейчас

Получить бесплатный доступ

Если вы являетесь пользователем интернет-версии системы ГАРАНТ, вы можете открыть этот документ прямо сейчас или запросить по Горячей линии в системе.

Текст документа представлен в информационных целях. Представление настоящего документа в ЭПС "Система ГАРАНТ" не является официальным изданием

Утвержден Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21.05.2007 г. N 96-ст

Введен в действие 01.02.2008 г.

Действует

Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.

Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.

Опубликован:

1. Стандартинформ, 2007 год

2. Стандартинформ, 2011 год

Разработчики:

1. ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума (главный)

2. ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)

3. ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт

Включен в перечни:

1. Указатель 2009. Национальные стандарты. Том 3

2. ИУС 2-2011. Информационный указатель стандартов

3. Указатель 2012. Национальные стандарты. Том 3

4. Указатель 2015. Национальные стандарты. Том 1

5. Указатель 2015. Национальные стандарты. Том 3

6. Указатель 2014. Национальные стандарты. Том 1

7. Указатель 2014. Национальные стандарты. Том 3

8. Указатель 2009. Национальные стандарты. Том 1

9. Указатель 2010. Национальные стандарты (номерник)

10. Указатель 2011. Национальные стандарты. Том 1

11. Указатель 2011. Национальные стандарты. Том 3

12. Указатель 2012. Национальные стандарты. Том 1

13. Указатель 2013. Национальные стандарты. Том 1

14. Указатель 2013. Национальные стандарты. Том 3

15. Указатель 2016. Национальные стандарты. Том 1

16. Указатель 2016. Национальные стандарты. Том 3

17. Указатель 2015. Нормативные документы в области метрологии

18. Указатель 2016. Нормативные документы в области метрологии

19. Указатель 2017. Национальные стандарты. Том 3

20. Указатель 2017. Национальные стандарты. Том 1

21. Указатель 2017. Перечень нормативных документов в области метрологии (действующих в Российской Федерации по состоянию на 1 января 2017 г.)

22. Указатель 2018. Национальные стандарты. Том 1

23. Указатель 2018. Национальные стандарты. Том 3

24. Указатель 2018. Перечень нормативных документов в области метрологии (действующих в Российской Федерации по состоянию на 1 января 2018 г.)

25. Указатель 2019. Национальные стандарты. Том 1

26. Указатель 2019. Национальные стандарты. Том 3

27. Указатель 2020. Документы в области метрологии (по состоянию на 1 января 2020 г.)