ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Вы можете открыть актуальную версию документа прямо сейчас.

Открыть документ

Если вы являетесь пользователем интернет-версии системы ГАРАНТ, вы можете открыть этот документ прямо сейчас или запросить по Горячей линии в системе.

Текст документа представлен в информационных целях. Представление настоящего документа в ЭПС "Система ГАРАНТ" не является официальным изданием

Утвержден Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15.12.2009 г. N 972-ст

Введен в действие 01.01.2011 г.

Действует

Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Опубликован: Стандартинформ, 2010 год

Разработчик: ФГУП ВНИИОФИ

Включен в перечни:

1. Указатель 2015. Национальные стандарты. Том 1

2. Указатель 2015. Национальные стандарты. Том 3

3. Указатель 2014. Национальные стандарты. Том 1

4. Указатель 2014. Национальные стандарты. Том 3

5. Указатель 2016. Национальные стандарты. Том 1

6. Указатель 2016. Национальные стандарты. Том 3

7. Указатель 2015. Нормативные документы в области метрологии

8. Указатель 2016. Нормативные документы в области метрологии

9. Указатель 2017. Национальные стандарты. Том 3

10. Указатель 2017. Национальные стандарты. Том 1

11. ИУС 5-2010. Информационный указатель стандартов

12. Указатель 2017. Перечень нормативных документов в области метрологии (действующих в Российской Федерации по состоянию на 1 января 2017 г.)

13. Указатель 2018. Национальные стандарты. Том 1

14. Указатель 2018. Национальные стандарты. Том 3

15. Указатель 2018. Перечень нормативных документов в области метрологии (действующих в Российской Федерации по состоянию на 1 января 2018 г.)

16. Указатель 2019. Национальные стандарты. Том 1

17. Указатель 2019. Национальные стандарты. Том 3

18. Указатель 2020. Документы в области метрологии (по состоянию на 1 января 2020 г.)