Приложение A (справочное). Пример обработки данных по результатам контроля

Приложение A
(справочное)

Пример обработки данных по результатам контроля

A.1 Общие положения

Исходные данные:

- заданы пороговые размеры частиц 0,1; 0,2 и 5,0 мкм;

- счет частиц проводился для шести диапазонов размеров частиц;

- использовался счетчик частиц, работающий на принципе рассеяния счета (LSAPC), со скоростью отбора проб 28,3 л/мин;

- выполнено 100 последовательных измерений для оценки пригодности.

A.2 Полученные значения в одной точке с высокой концентрацией частиц

Значения для данного примера показаны в таблице 1.

ГАРАНТ:

По-видимому, в тексте предыдущего абзаца допущена опечатка. Вместо слов "таблице 1" следует читать "таблице A.1"

Таблица A.1 - Значения, полученные счетчиком со скоростью отбора проб 28,3 л/мин для целей классификации

Номер измерения	0,1 мкм	0,2 мкм	0,3 мкм	0,5 мкм	1,0 мкм	5,0 мкм
1	1	0	0	0	0	0
2	33	11	3	3	1	1
3	27	13	13	10	9	3
...
100	0	0	0	0	0	0

Формулы (A.1) и (A.2) дают наиболее важные данные для оценки пригодности оборудования к использованию в чистом помещении (таблица A.2).

Таблица A.2 - Статистические данные по оценке пригодности оборудования

	0,1 мкм	0,2 мкм	0,3 мкм	0,5 мкм	1,0 мкм	5,0 мкм
Число считываний n	100	100	100	100	100	100
Среднее значение	16,33	7,39	5,88	4,19	2,87	0,90
Стандартное отклонение s	68,12	28,13	22,34	15,79	10,70	2,27
Максимальное значение	586	216	166	116	74	10
Минимальное значение	0	0	0	0	0	0

Следует выполнить статистический анализ результатов считываний по 6.2.8. В большинстве случаев, когда ожидаемое число частиц (среднее значение) рассматриваемых размеров более 10 частиц за одно измерение, следует использовать метод a), 6.2.9.2. В случае, когда ожидаемое число частиц менее 10, следует использовать метод b), 6.2.9.3.

Для определения, какой из методов по 6.2.9 подходит, следует рассмотреть ожидаемое число частиц (среднее значение) для рассматриваемых размеров частиц. Для частиц с размерами  0,1 мкм следует использовать метод по 6.2.9.2, для частиц с размерами  0,2 мкм и  5,0 мкм - метод по 6.2.9.3.

Для частиц с размерами  0,1 мкм использована формула (A.3)

;

(A.1)

.

(A.2)

Для класса 3 ИСО и частиц с размерами  0,1 мкм предел G равен 28 частицам в пробе объемом 28,3 л (таблица A.3).

.

(A.3)

Поскольку полученное значение z = 0,05 не удовлетворяет требованиям доверительного предела (z должна быть более или равна 1,645), то класс 3 ИСО не подтверждается (ИСО 14644-1).

Для класса 4 ИСО и частиц с размерами  0,1 мкм предел G равен 283 частицам в пробе объемом 28,3 л.

.

(A.4)

Поскольку полученное значение z = 37,49 удовлетворяет доверительному пределу (z должна быть больше или равной 1,645), то класс 4 ИСО подтверждается (ИСО 14644-1).

Частицы с размерами  0,2 мкм

Ожидаемое число частиц (среднее значение) с размерами > 0,2 мкм равно 7,39, что меньше 10. Вероятность непревышения заданного предела класса G следует определить по таблице A.4, основанной на распределении Пуассона.

Согласно таблице A.4 верхний доверительный предел P _u = 12.

Это меньше предела класса G = 67 (таблица A.2) для частиц с размерами  0,2 мкм для класса 4 ИСО.

Данные для частиц с размерами  0,2 мкм подтверждают пригодность оборудования к использованию в чистом помещении класса 4 ИСО (0,2 мкм), поскольку вероятность непревышения заданного передела не менее 95 %.

Частицы с размерами  5,0 мкм

Как и в предыдущем примере, ожидаемое число частиц (среднее значение) с размерами > 5,0 мкм равно 0,90, что меньше 10. Вероятность непревышения заданного предела класса G следует определить по таблице A.4, основанной на распределении Пуассона.

Согласно таблице A.4 верхний доверительный предел P _u = 3.

Это меньше предела класса G = 8,28 (таблица A.2) для частиц с размерами  5,0 мкм для класса 6 ИСО.

Данные для частиц с размерами  5,0 мкм подтверждают пригодность оборудования к использованию в чистом помещении класса 6 ИСО (5,0 мкм), поскольку вероятность непревышения заданного передела не менее 95 %.

Установление соответствия с ИСО 14644-1:2015, таблица 1

Для установления соответствия с ИСО 14644-1:2015 (таблица 1) необходимо учесть следующее.

Объем пробы равен 28,3 л (0,283 м ³). Умножение значений таблицы 1 по ИСО 14644-1:2015 дает соответствующие значения G в таблице A.3.

Таблица A.3 - Вычисленные значения G для класса N ИСО

Класс N ИСО	Вычисленный предел класса G для размеров частиц
	0,1 мкм	0,2 мкм	5,0 мкм
1	0,28	0,07	0,00
2	2,83	0,67	0,00
3	28	6,70	0,01
4	283	67	0,08
5	2 832	671	0,83
6	28 321	6 712	8,28
7	283 206	67 120	83
8	2 832 059	671 198	830
9	28 320 589	6 711 980	8 298
Примечание - Серый фон обозначает размеры частиц, не предназначенные для классификации по ИСО 14644-1.

Таблица A.4 - Верхний доверительный предел по методу b)

Среднее значение	Верхний доверительный предел P u
0,0512	0
0,355	1
0,818	2
1,366	3
1,970	4
2,613	5
3,285	6
3,981	7
4,695	8
5,425	9
6,169	10
6,924	11
7,690	12
8,464	13
9,247	14
10,000	15
Примечание - Таблица A.4 основана на распределении Пуассона для 95 %-ного доверительного предела.

A.3 Результаты

Для заданных размеров частиц установлены следующие классы ИСО:

 0,1 мкм класс 4 ИСО;

 0,2 мкм класс 4 ИСО;

 5,0 мкм класс 6 ИСО.

В соответствии с 6.2.10 следует выбрать класс с наибольшим классификационным числом для оценки пригодности оборудования: класс 6 ИСО по частицам с размерами  5 мкм.

Полученные данные позволяют сделать общее заключение о пригодности оборудования: "Оценка по ИСО 14644-14 для согласованного режима работы показала, что оборудование Z удовлетворяет требованиям чистых помещений класса 6 ИСО для частиц с размерами  5 мкм".