4. Аттестация и текущий контроль классов чистоты воздуха
4.1. Аттестация классов чистоты воздуха по частицам.
Классы чистоты воздуха по содержанию частиц в том виде, как это определено в разделе 3, должны подтверждаться аттестацией путем проведения пользователем измерений концентрации и размеров частиц с соблюдением следующих условий:
4.1.1. Условия измерений в чистой комнате или зоне должны соответствовать ее состояниям, определенным в разделах: 2.4.1. ("построенная чистая комната") и 2.4.3. ("функционирующая чистая комната") или оговариваются "в спецификации".
4.1.2. При проведении аттестации проверяющий (поверитель) проводит измерения концентрации частиц для всех их размеров, указанных в табл. 1, и скорости воздушного потока.
4.1.3. Подсчет частиц должен осуществляться с использованием метода, описанного в подразделе 4.3. и данных приложения В для всех случаев аттестации чистых комнат и зон.
Для определения концентрации частиц в той или иной точке помещения необходимо знать скорости воздушного потока в этих точках (это следует из формул и таблиц приложения С). Таким образом, определению концентрации частиц должно предшествовать измерение скорости воздушного потока в детектируемой точке*(2).
4.1.4. Количество и местоположение точек пробоотбора*(3) при направленном потоке определяется следующим образом: для направленного воздушного потока чистая зона ограничивается входной и выходной плоскостями, располагаемыми перпендикулярно воздушному потоку. Входная плоскость располагается непосредственно на входе потока в пределы чистой зоны, выходная плоскость - на выходе потока из чистой зоны.
Минимальное количество точек, в которых проводятся измерения, должно равняться целой части числового значения:
площади входной плоскости (в м2), деленной на 2,5.
Пример: для чистой комнаты с площадью 10 м2 в случае подачи воздуха в помещение через потолок по всей его площади минимальное число точек, в которых осуществляется отбор проб воздуха, равно 4 (10/2,5), т.к. здесь площадь комнаты совпадает с площадью входной плоскости.
4.1.5. Количество и местоположение точек пробоотбора при ненаправленном потоке определяются следующим образом: точки пробоотбора должны располагаться равномерно в горизонтальной плоскости и распределяться поровну, как минимум, между двумя уровнями по вертикали: на расстоянии около 20 см. ниже плоскости фильтров, через которые осуществляется подача воздуха в помещение и на уровне проведения технологических операций.
Минимальное число точек пробоотбора должно равняться значению площадки пола чистой зоны (в м2), деленному на величину 0,1 от корня квадратного из числового значения класса чистоты воздуха по частицам.
Пример: для чистой комнаты класса 100 с площадью 10 м2 минимальное число точек пробоотбора равно 10 (10/(0,1 х (корень квадратный из 100))). В случае подачи воздуха в помещение через потолок точки пробоотбора расположены следующим образом (вид сверху; точки 1 -- 5 и 1' -- 5' соответствуют двум различным уровням по вертикали):
/------------------------------\
| * 1 (1') * 2(2')|
| |
| * 5(5') |
| |
| * 3(3') * 4(4')|
\------------------------------/
4.1.6. Ограничения на местоположение точек пробоотбора задаются следующим образом: не менее двух точек используется при пробоотборе в любой чистой зоне. Точки пробоотбора должны распределяться в пространстве чистой зоны равномерно за исключением ограничений, налагаемых размещением оборудования в чистой зоне. По крайней мере, одна проба должна отбираться в каждой из точек, определяемых в подразделе 4.1.4. и, как минимум 5 проб, в каждой из точек, определяемых в подразделе 4.1.5. В каждой точке может быть взято различное количество проб.
4.1.7. Задаются следующие требования к пробоотбору: в табл.2 представлены минимальные объемы проб (в литрах) для различных классов чистоты и размеров частиц.
Таблица 2
Минимальный объем пробы воздуха (в литрах) в зависимости от класса чистоты и измеряемого размера частиц
Размер частиц
(в микро-
метрах) |
Число частиц в одном литре |
| Класс чистоты |
| 100 |
1000 |
10000 |
100000 |
| 0,2 |
2,83 |
не измеряется |
не измеряется |
не измеряется |
| 0,3 |
2,83 |
не измеряется |
не измеряется |
не измеряется |
| 0,5 |
5,66 |
2,83 |
2,83 |
2,83 |
| 5,0 |
не измеряется |
85 |
8,5 |
8,5 |
Образцы воздуха, взятые в каждой точке, должны иметь достаточный объем, чтобы в любом образце было обнаружено, по крайней мере, 20 частиц каждого размера согласно табл.2.
Объем образца воздуха должен быть не менее 0,00283 м3 (2,83 литра). Результаты вычислений объемов образцов не должны округляться.
Время взятия образца вычисляется делением объема образца на произведение скорости воздушного потока в точке измерения и площади входного сечения пробоотборника.
Пример: объем отбираемой пробы 10 литров (10000 см3), скорость воздушного потока в точке измерения 20 см/с, площадь входного сечения пробоотборника 5 см2. Тогда время пробоотбора равно 100 с (10000/(20х5)).
Пробоотбор должен удовлетворять условию изокинетичности (скорость поступления воздуха в пробоотборник должна совпадать по величине и по направлению со скоростью воздушного потока в окружающей среде). В этом случае концентрация регистрируемых частиц совпадает с концентрацией частиц в детектируемой точке. В случае неизокинетического отбора пробы (при этом входное отверстие пробоотборника*(4) необходимо ориентировать перпендикулярно направлению скорости воздушного потока в детектируемой точке) связь между концентрацией частиц в пробе с концентрацией их в детектируемой точке задается формулой (С-1), приведенной в приложении С.
4.1.8. Объем пробоотбора при других (нестандартных) классах чистоты и размерах частиц определяется следующим образом: объем проб для классов чистоты или размеров частиц, не представленных в таблице 2, будет таким же, как для следующего меньшего в числовом выражении класса чистоты или размера частиц.
4.1.9. Статистическая обработка данных по результатам измерения концентрации частиц с целью аттестации класса чистоты воздуха по частицам должна осуществляться в соответствии с параграфом 4.4.
4.2. Текущий контроль класса частоты воздуха.
После процедуры аттестации класс чистоты воздуха по частицам периодически контролируется текущими измерениями. Текущий контроль заключается в измерении концентрации и размера частиц.
4.2.1 План текущего контроля должен составляться, исходя из требуемого класса чистоты воздуха по частицам и необходимой частоты контроля в интересах осуществления производственной деятельности или защиты создаваемой продукции. План текущего контроля определяет требования к частоте контроля; условиям функционирования чистой комнаты (зоны); методу подсчета частиц; к количеству и местоположению точек, в которых осуществляется отбор проб, к числу отбираемых проб воздуха в каждой точке, а также указывает метод интерпретации получаемых данных. План текущего контроля составляется ГИСК им.Л.А.Тарасевича и утверждается органами Госкомсанэпиднадзора.
4.2.2 Подсчет частиц производится с использованием одного из методов, указанных в параграфе 4.3. с учетом "спецификации". Измерения концентрации частиц должны осуществляться в точках пробоотбора, расположенных по всей чистой зоне или в тех местах, где уровень чистоты является наиболее критичным, или где в процессе контроля обнаружены наиболее высокие уровни концентрации частиц. Пробы воздуха должны браться в пределах чистой зоны.
4.3. Методы и аппаратура для измерения концентрации частиц в воздухе.
Метод и аппаратура, предназначенные для измерения концентрации частиц в воздухе должны выбираться, исходя из интересующего размера частиц. Если это особо не "оговорено спецификацией", то для аттестации и текущего контроля чистоты воздуха следует применять метод, изложенный в п.4.3.1. Другие методы и аппаратура могут быть использованы, если они демонстрируют точность и воспроизводимость такую же или лучшую, чем описанные ниже методы и аппаратура.
4.3.1. Для измерения концентрации частиц размером 0,1 микрометра и более в соответствии с приложением А должен использоваться оптический счетчик частиц. Используемый для аттестации и контроля прибор по своим техническим и метрологическим характеристикам должен отвечать всем необходимым требованиям. Для определения концентрации частиц в воздухе могут использоваться только данные, получаемые на периодически калибруемых и поддерживаемых в исправном состоянии счетчиков. Данные о размерах частиц будут представляться в значениях эквивалентного диаметра, получаемого при калибровке с использованием калибровочных стандартных частиц.
4.3.2. Счетчики частиц не должны применяться для подсчета концентраций частиц в областях их размеров, превышающих верхний предел, установленный изготовителем счетчиков.
